太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2008年
3期
319-323
,共5页
安静%孙铁囤%刘志刚%汪建强%苦史伟
安靜%孫鐵囤%劉誌剛%汪建彊%苦史偉
안정%손철돈%류지강%왕건강%고사위
硅腐蚀%反应速度%温度
硅腐蝕%反應速度%溫度
규부식%반응속도%온도
研究了硅片在富硝酸的HF/HNCO3/H2O体系中的腐蚀规律.随着腐蚀反应的进行,反应分5个阶段,在开始的5min内硅片腐蚀量较大,然后反应速度经历了下降、上升、下降再迅速下降的过程,最终达到稳定阶段.另外,随着反应时间的延长,反应温度先上升到达最大值,然后逐渐下降,溶液中氟离子浓度不断减小,反应速度随时间的变化规律是腐蚀生成热、体系与外界热交换以及溶液中氟离子浓度共同作用的结果.
研究瞭硅片在富硝痠的HF/HNCO3/H2O體繫中的腐蝕規律.隨著腐蝕反應的進行,反應分5箇階段,在開始的5min內硅片腐蝕量較大,然後反應速度經歷瞭下降、上升、下降再迅速下降的過程,最終達到穩定階段.另外,隨著反應時間的延長,反應溫度先上升到達最大值,然後逐漸下降,溶液中氟離子濃度不斷減小,反應速度隨時間的變化規律是腐蝕生成熱、體繫與外界熱交換以及溶液中氟離子濃度共同作用的結果.
연구료규편재부초산적HF/HNCO3/H2O체계중적부식규률.수착부식반응적진행,반응분5개계단,재개시적5min내규편부식량교대,연후반응속도경력료하강、상승、하강재신속하강적과정,최종체도은정계단.령외,수착반응시간적연장,반응온도선상승도체최대치,연후축점하강,용액중불리자농도불단감소,반응속도수시간적변화규률시부식생성열、체계여외계열교환이급용액중불리자농도공동작용적결과.
