微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2008年
7期
383-386
,共4页
杨红伟%张世祖%陈玉娟%家秀云
楊紅偉%張世祖%陳玉娟%傢秀雲
양홍위%장세조%진옥연%가수운
大功率激光二极管%正向漏电%解理纹%保护区%成品率
大功率激光二極管%正嚮漏電%解理紋%保護區%成品率
대공솔격광이겁관%정향루전%해리문%보호구%성품솔
大功率激光二极管阵列的正向特性失效问题严重影响器件的成品率和可靠性.对典型的失效现象进行了分类,确认了主要的失效现象是正向漏电.结合分阶段测试统计和对失效样品的显微分析,确定了造成激光二极管漏电的主要工艺环节以及工艺过程中机械损伤造成二极管漏电的机理.基于分析结果,改进了芯片结构设计和芯片工艺夹具.对改进后的芯片进行了统计实验验证,结果表明,激光二极管阵列的正向漏电问题得到基本解决,正向特性成品率从60%提高到90%以上.
大功率激光二極管陣列的正嚮特性失效問題嚴重影響器件的成品率和可靠性.對典型的失效現象進行瞭分類,確認瞭主要的失效現象是正嚮漏電.結閤分階段測試統計和對失效樣品的顯微分析,確定瞭造成激光二極管漏電的主要工藝環節以及工藝過程中機械損傷造成二極管漏電的機理.基于分析結果,改進瞭芯片結構設計和芯片工藝夾具.對改進後的芯片進行瞭統計實驗驗證,結果錶明,激光二極管陣列的正嚮漏電問題得到基本解決,正嚮特性成品率從60%提高到90%以上.
대공솔격광이겁관진렬적정향특성실효문제엄중영향기건적성품솔화가고성.대전형적실효현상진행료분류,학인료주요적실효현상시정향루전.결합분계단측시통계화대실효양품적현미분석,학정료조성격광이겁관루전적주요공예배절이급공예과정중궤계손상조성이겁관루전적궤리.기우분석결과,개진료심편결구설계화심편공예협구.대개진후적심편진행료통계실험험증,결과표명,격광이겁관진렬적정향루전문제득도기본해결,정향특성성품솔종60%제고도90%이상.
