CAJ | 학술논문

采用反应非平衡磁控溅射技术制备了Ti(C, N)多层膜,其中以石墨靶材作为镀层生长所需的碳源.实验研究了石墨靶材电流变化对Ti(C, N)多层膜微观组织、力学性能以及摩擦性能的影响.采用X射线衍射仪及透射电子显微镜观察分析了多层膜的相组成与微观组织;使用维氏显微硬度计及销盘试验机分别测试了多层膜的显微硬度与摩擦系数.研究结果表明,所制备的Ti(C, N)镀层不仅具有多层结构而且镀层内还存在大量的纳米柱状晶粒.Ti(C, N)镀层内晶粒尺寸随石墨靶材电流的增加而逐渐减小而多层周期厚度随着石墨靶材电流的增加而增大.镀层的多层结构强烈抑制Ti(C, N)柱状晶的生长,当石墨靶材电流增加时,Ti(C, N)镀层内细小的柱状晶逐渐消失并出现非晶相.
채용반응비평형자공천사기술제비료Ti(C, N)다층막,기중이석묵파재작위도층생장소수적탄원.실험연구료석묵파재전류변화대Ti(C, N)다층막미관조직、역학성능이급마찰성능적영향.채용X사선연사의급투사전자현미경관찰분석료다층막적상조성여미관조직;사용유씨현미경도계급소반시험궤분별측시료다층막적현미경도여마찰계수.연구결과표명,소제비적Ti(C, N)도층불부구유다층결구이차도층내환존재대량적납미주상정립.Ti(C, N)도층내정립척촌수석묵파재전류적증가이축점감소이다층주기후도수착석묵파재전류적증가이증대.도층적다층결구강렬억제Ti(C, N)주상정적생장,당석묵파재전류증가시,Ti(C, N)도층내세소적주상정축점소실병출현비정상.