巢湖学院学报
巢湖學院學報
소호학원학보
CHAOHU TEACHERS COLLEGE JOURNAL
2009年
6期
37-41
,共5页
溅射%SRIM2006%能量损失%射程
濺射%SRIM2006%能量損失%射程
천사%SRIM2006%능량손실%사정
运用SRIM2006软件对靶材的溅射进行了模拟,计算了各种情况下离子入射靶材能量损失和射程分布,分析其内部碰撞机理,得到了入射离子能量损失和射程分布随离子能量得变化规律:低能离子溅射能量损失以核阻止为主,高能离子溅射能量损失以电子阻止为主;载能离子的能量损失及射程与入射离子和靶原子有关;对于低能离子溅射靶材,入射离子主要分布在靶材表面几层原子内.
運用SRIM2006軟件對靶材的濺射進行瞭模擬,計算瞭各種情況下離子入射靶材能量損失和射程分佈,分析其內部踫撞機理,得到瞭入射離子能量損失和射程分佈隨離子能量得變化規律:低能離子濺射能量損失以覈阻止為主,高能離子濺射能量損失以電子阻止為主;載能離子的能量損失及射程與入射離子和靶原子有關;對于低能離子濺射靶材,入射離子主要分佈在靶材錶麵幾層原子內.
운용SRIM2006연건대파재적천사진행료모의,계산료각충정황하리자입사파재능량손실화사정분포,분석기내부팽당궤리,득도료입사리자능량손실화사정분포수리자능량득변화규률:저능리자천사능량손실이핵조지위주,고능리자천사능량손실이전자조지위주;재능리자적능량손실급사정여입사리자화파원자유관;대우저능리자천사파재,입사리자주요분포재파재표면궤층원자내.
