工具技术
工具技術
공구기술
TOOL ENGINEERING
2010年
1期
105-108
,共4页
计量学%微位移测量%激光十涉%十字片簧铰链%光电阵列
計量學%微位移測量%激光十涉%十字片簧鉸鏈%光電陣列
계량학%미위이측량%격광십섭%십자편황교련%광전진렬
介绍的基于激光干涉的微位移测量仪具有分辨率高、结构简单、成本低的特点.该微位移测量仪由幕于迈克尔逊激光干涉原理的微位移测量装置、工作台、光电阵列、信号处理电路、计算机及数据处理软件等组成.该测量仪位移测量理论分辨力可以达到0,01nm,特别适合范围在微米及微米以下的位移测量,可用于MEMS器件的位移检测,压电器件位移检测等.
介紹的基于激光榦涉的微位移測量儀具有分辨率高、結構簡單、成本低的特點.該微位移測量儀由幕于邁剋爾遜激光榦涉原理的微位移測量裝置、工作檯、光電陣列、信號處理電路、計算機及數據處理軟件等組成.該測量儀位移測量理論分辨力可以達到0,01nm,特彆適閤範圍在微米及微米以下的位移測量,可用于MEMS器件的位移檢測,壓電器件位移檢測等.
개소적기우격광간섭적미위이측량의구유분변솔고、결구간단、성본저적특점.해미위이측량의유막우매극이손격광간섭원리적미위이측량장치、공작태、광전진렬、신호처리전로、계산궤급수거처리연건등조성.해측량의위이측량이론분변력가이체도0,01nm,특별괄합범위재미미급미미이하적위이측량,가용우MEMS기건적위이검측,압전기건위이검측등.
