电路与系统学报
電路與繫統學報
전로여계통학보
JOURNAL OF CIRCUITS AND SYSTEMS
2010年
3期
96-104
,共9页
张瑛%王志功%Janet M.Wang%方承志
張瑛%王誌功%Janet M.Wang%方承誌
장영%왕지공%Janet M.Wang%방승지
工艺变化%互连线%蒙特卡洛法%寄生参数提取%多项式混沌
工藝變化%互連線%矇特卡洛法%寄生參數提取%多項式混沌
공예변화%호련선%몽특잡락법%기생삼수제취%다항식혼돈
随着超大规模集成电路制造进入深亚微米和超深亚微米阶段,互连线的工艺变化已成为影响集成电路性能的重要因素.针对该问题,结合作者的研究工作,综述了目前国内外互连线工艺变化若干关键问题的研究进展情况,重点介绍工艺变化条件下互连线寄生电参数及其传输性能的研究方法,并分析不同技术的特点和局限性.最后展望了互连线工艺变化问题今后的研究发展方向.
隨著超大規模集成電路製造進入深亞微米和超深亞微米階段,互連線的工藝變化已成為影響集成電路性能的重要因素.針對該問題,結閤作者的研究工作,綜述瞭目前國內外互連線工藝變化若榦關鍵問題的研究進展情況,重點介紹工藝變化條件下互連線寄生電參數及其傳輸性能的研究方法,併分析不同技術的特點和跼限性.最後展望瞭互連線工藝變化問題今後的研究髮展方嚮.
수착초대규모집성전로제조진입심아미미화초심아미미계단,호련선적공예변화이성위영향집성전로성능적중요인소.침대해문제,결합작자적연구공작,종술료목전국내외호련선공예변화약간관건문제적연구진전정황,중점개소공예변화조건하호련선기생전삼수급기전수성능적연구방법,병분석불동기술적특점화국한성.최후전망료호련선공예변화문제금후적연구발전방향.
