光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2010年
8期
1781-1787
,共7页
冯志庆%白兰%张增宝%林冠宇
馮誌慶%白蘭%張增寶%林冠宇
풍지경%백란%장증보%림관우
高能量激光%反射镜%球差%热变形%热补偿
高能量激光%反射鏡%毬差%熱變形%熱補償
고능량격광%반사경%구차%열변형%열보상
研制了一套由压电陶瓷驱动器、压力传感器、环状力施加机构和控制电路组成的反射镜动态热变形补偿系统用于补偿激光反射镜热变形球差.圆形反射镜在两个同轴不同半径的环形力作用下,其内环区域产生曲率可变的抛物面形变,由此补偿反射镜热变形带来的球差项.对镜体进行了有限元数值计算,建立了变形量与沉积热量与受力的关系.采用口径为100 mm,厚度为8 mm平面反射镜进行了受力-变形以及辐照-受力-变形实验,利用干涉仪对面型进行监测.研究表明,在不同推力作用下,有效区域内变形始终保持抛物面形.给出了推力-面型变化曲线,在225 N推力下,中心最大变形超过3 μm.在不同热沉积量下,镜体中心位移和受力保持线性关系,力-变形系数为0.013 μm/N.
研製瞭一套由壓電陶瓷驅動器、壓力傳感器、環狀力施加機構和控製電路組成的反射鏡動態熱變形補償繫統用于補償激光反射鏡熱變形毬差.圓形反射鏡在兩箇同軸不同半徑的環形力作用下,其內環區域產生麯率可變的拋物麵形變,由此補償反射鏡熱變形帶來的毬差項.對鏡體進行瞭有限元數值計算,建立瞭變形量與沉積熱量與受力的關繫.採用口徑為100 mm,厚度為8 mm平麵反射鏡進行瞭受力-變形以及輻照-受力-變形實驗,利用榦涉儀對麵型進行鑑測.研究錶明,在不同推力作用下,有效區域內變形始終保持拋物麵形.給齣瞭推力-麵型變化麯線,在225 N推力下,中心最大變形超過3 μm.在不同熱沉積量下,鏡體中心位移和受力保持線性關繫,力-變形繫數為0.013 μm/N.
연제료일투유압전도자구동기、압력전감기、배상력시가궤구화공제전로조성적반사경동태열변형보상계통용우보상격광반사경열변형구차.원형반사경재량개동축불동반경적배형력작용하,기내배구역산생곡솔가변적포물면형변,유차보상반사경열변형대래적구차항.대경체진행료유한원수치계산,건립료변형량여침적열량여수력적관계.채용구경위100 mm,후도위8 mm평면반사경진행료수력-변형이급복조-수력-변형실험,이용간섭의대면형진행감측.연구표명,재불동추력작용하,유효구역내변형시종보지포물면형.급출료추력-면형변화곡선,재225 N추력하,중심최대변형초과3 μm.재불동열침적량하,경체중심위이화수력보지선성관계,력-변형계수위0.013 μm/N.
