SiC/ZnO/Si镶嵌结构的光致发光研究
SiC/ZnO/Si양감결구적광치발광연구
Study of the photoluminescence of SiC/ZnO/Si complex film
  • 万方数据
    功能材料 공능재료
    JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
    2010年 12期 2151-2152,2156 ,共3页

    魏晋军%马书懿

    위진군%마서의

    磁控共溅射%复合薄膜%光致发光 磁控共濺射%複閤薄膜%光緻髮光
    자공공천사%복합박막%광치발광
    采用磁控溅射法制备了SiC/ZnO/Si镶嵌结构复合薄膜,对样品采用了不同的温度进行退火处理,测定了样品的光致发光图谱.结果显示,复合薄膜的光致发光强度较单体薄膜有一定的增强,主要原因是发光复合中心的多元化和分布浓度的增加;随着退火温度的不同,各峰位的变化趋势有所不同.
    채용자공천사법제비료SiC/ZnO/Si양감결구복합박막,대양품채용료불동적온도진행퇴화처리,측정료양품적광치발광도보.결과현시,복합박막적광치발광강도교단체박막유일정적증강,주요원인시발광복합중심적다원화화분포농도적증가;수착퇴화온도적불동,각봉위적변화추세유소불동.
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