光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2012年
2期
352-359
,共8页
谢立强%邢建春%王浩旭%董培涛%吴学忠
謝立彊%邢建春%王浩旭%董培濤%吳學忠
사립강%형건춘%왕호욱%동배도%오학충
z切石英%微结构%各向异性湿法刻蚀%形貌预测
z切石英%微結構%各嚮異性濕法刻蝕%形貌預測
z절석영%미결구%각향이성습법각식%형모예측
基于石英晶体各晶面的湿法刻蚀速率,研究了石英微结构侧壁形貌的预测方法,讨论了各向异性湿法刻蚀石英的规律.首先,总结了石英各主要晶面的相对刻蚀速率,分别绘制了x、y族刻蚀速率矢量图.然后,在掩模层的边缘处,通过绘制相应的晶面刻蚀速率矢量图,得到各速率矢量的晶面线,晶面线所围成的最小轮廓即是石英微结构的刻蚀形貌.最后,利用该方法预测了x向和y向石英梁的侧壁形貌.在70℃的氢氟酸和氟化铵混合溶液内刻蚀5h,制作了厚度均为500μm的x向和y向两种石英微梁.结果显示,y向梁的-x向侧壁有一均匀整齐的晶棱,棱高210 μm,而+z向侧壁平滑.x向梁的侧壁均有晶棱,+y向晶棱较大,棱高为450 μm,-y向晶棱棱高为240 μm.所制作梁的侧壁形貌与预测结论基本吻合,验证了预测方法的正确性.基于该方法可在石英微结构的设计阶段,通过引入工艺因素对微结构进行优化.
基于石英晶體各晶麵的濕法刻蝕速率,研究瞭石英微結構側壁形貌的預測方法,討論瞭各嚮異性濕法刻蝕石英的規律.首先,總結瞭石英各主要晶麵的相對刻蝕速率,分彆繪製瞭x、y族刻蝕速率矢量圖.然後,在掩模層的邊緣處,通過繪製相應的晶麵刻蝕速率矢量圖,得到各速率矢量的晶麵線,晶麵線所圍成的最小輪廓即是石英微結構的刻蝕形貌.最後,利用該方法預測瞭x嚮和y嚮石英樑的側壁形貌.在70℃的氫氟痠和氟化銨混閤溶液內刻蝕5h,製作瞭厚度均為500μm的x嚮和y嚮兩種石英微樑.結果顯示,y嚮樑的-x嚮側壁有一均勻整齊的晶稜,稜高210 μm,而+z嚮側壁平滑.x嚮樑的側壁均有晶稜,+y嚮晶稜較大,稜高為450 μm,-y嚮晶稜稜高為240 μm.所製作樑的側壁形貌與預測結論基本吻閤,驗證瞭預測方法的正確性.基于該方法可在石英微結構的設計階段,通過引入工藝因素對微結構進行優化.
기우석영정체각정면적습법각식속솔,연구료석영미결구측벽형모적예측방법,토론료각향이성습법각식석영적규률.수선,총결료석영각주요정면적상대각식속솔,분별회제료x、y족각식속솔시량도.연후,재엄모층적변연처,통과회제상응적정면각식속솔시량도,득도각속솔시량적정면선,정면선소위성적최소륜곽즉시석영미결구적각식형모.최후,이용해방법예측료x향화y향석영량적측벽형모.재70℃적경불산화불화안혼합용액내각식5h,제작료후도균위500μm적x향화y향량충석영미량.결과현시,y향량적-x향측벽유일균균정제적정릉,릉고210 μm,이+z향측벽평활.x향량적측벽균유정릉,+y향정릉교대,릉고위450 μm,-y향정릉릉고위240 μm.소제작량적측벽형모여예측결론기본문합,험증료예측방법적정학성.기우해방법가재석영미결구적설계계단,통과인입공예인소대미결구진행우화.
