人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2011年
5期
1353-1357
,共5页
单晶炉%双入双出系统%解耦控制%前馈补偿
單晶爐%雙入雙齣繫統%解耦控製%前饋補償
단정로%쌍입쌍출계통%해우공제%전궤보상
晶体生长过程中其直径的控制是通过调节生长速度和热场温度而实现的.控制系统是一个双入双出系统,输入输出之间存在耦合关系.本文采用前馈补偿解耦的方法,实现了单晶炉生长控制中的解耦控制,并通过仿真及实验证明了方法的有效性.
晶體生長過程中其直徑的控製是通過調節生長速度和熱場溫度而實現的.控製繫統是一箇雙入雙齣繫統,輸入輸齣之間存在耦閤關繫.本文採用前饋補償解耦的方法,實現瞭單晶爐生長控製中的解耦控製,併通過倣真及實驗證明瞭方法的有效性.
정체생장과정중기직경적공제시통과조절생장속도화열장온도이실현적.공제계통시일개쌍입쌍출계통,수입수출지간존재우합관계.본문채용전궤보상해우적방법,실현료단정로생장공제중적해우공제,병통과방진급실험증명료방법적유효성.
