稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2012年
4期
717-721
,共5页
刘效岩%刘玉岭%梁艳%胡轶%刘海晓%李晖
劉效巖%劉玉嶺%樑豔%鬍軼%劉海曉%李暉
류효암%류옥령%량염%호질%류해효%리휘
铜互连线%无磨料%低压%FA/O型螫合剂%化学机械平坦化
銅互連線%無磨料%低壓%FA/O型螫閤劑%化學機械平坦化
동호련선%무마료%저압%FA/O형석합제%화학궤계평탄화
在低压无磨料条件下,利用碱性FA/O型螯合剂具有极强螫合能力的特性,对铜互连线进行化学机械平坦化,获得了高抛光速率和表面一致性.提出了铜表面低压无磨料抛光技术的平坦化原理,在分析了抛光液化学组分与铜化学反应机理的基础上,对抛光液中的主要成分FA/O型螯合剂、氧化剂的配比和抛光工艺参数压力、抛光机转速进行了研究.结果表明:在压力为6.34 kPa和抛光机转速为60 r/min时,抛光液中添加5％螯合剂与1％氧化剂(体积分数,下同),抛光速率为1825 nm/min,表面非均匀性为0.15.
在低壓無磨料條件下,利用堿性FA/O型螯閤劑具有極彊螫閤能力的特性,對銅互連線進行化學機械平坦化,穫得瞭高拋光速率和錶麵一緻性.提齣瞭銅錶麵低壓無磨料拋光技術的平坦化原理,在分析瞭拋光液化學組分與銅化學反應機理的基礎上,對拋光液中的主要成分FA/O型螯閤劑、氧化劑的配比和拋光工藝參數壓力、拋光機轉速進行瞭研究.結果錶明:在壓力為6.34 kPa和拋光機轉速為60 r/min時,拋光液中添加5％螯閤劑與1％氧化劑(體積分數,下同),拋光速率為1825 nm/min,錶麵非均勻性為0.15.
재저압무마료조건하,이용감성FA/O형오합제구유겁강석합능력적특성,대동호련선진행화학궤계평탄화,획득료고포광속솔화표면일치성.제출료동표면저압무마료포광기술적평탄화원리,재분석료포광액화학조분여동화학반응궤리적기출상,대포광액중적주요성분FA/O형오합제、양화제적배비화포광공예삼수압력、포광궤전속진행료연구.결과표명:재압력위6.34 kPa화포광궤전속위60 r/min시,포광액중첨가5％오합제여1％양화제(체적분수,하동),포광속솔위1825 nm/min,표면비균균성위0.15.
