微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2003年
7期
356-358,361
,共4页
伊福廷%姜雄平%彭良强%张菊芳%韩勇
伊福廷%薑雄平%彭良彊%張菊芳%韓勇
이복정%강웅평%팽량강%장국방%한용
MEMS%生物芯片%电泳技术%微结构
MEMS%生物芯片%電泳技術%微結構
MEMS%생물심편%전영기술%미결구
运用光刻、刻蚀技术在载玻片上刻蚀出条宽70 μm、深30 μm、长7 cm的沟槽,与另一载玻片键合,形成一微流路沟道,研制出了用于生物电泳技术的微流路生物芯片.在该芯片的研制中,克服了湿法腐蚀、断线、键合等技术难题.该芯片已经交付合作单位使用,能够满足应用中的基本性能要求.
運用光刻、刻蝕技術在載玻片上刻蝕齣條寬70 μm、深30 μm、長7 cm的溝槽,與另一載玻片鍵閤,形成一微流路溝道,研製齣瞭用于生物電泳技術的微流路生物芯片.在該芯片的研製中,剋服瞭濕法腐蝕、斷線、鍵閤等技術難題.該芯片已經交付閤作單位使用,能夠滿足應用中的基本性能要求.
운용광각、각식기술재재파편상각식출조관70 μm、심30 μm、장7 cm적구조,여령일재파편건합,형성일미류로구도,연제출료용우생물전영기술적미류로생물심편.재해심편적연제중,극복료습법부식、단선、건합등기술난제.해심편이경교부합작단위사용,능구만족응용중적기본성능요구.
