中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2005年
z1期
357-358,362
,共3页
吴成昌%肖夏%赵新为%张生才
吳成昌%肖夏%趙新為%張生纔
오성창%초하%조신위%장생재
纳米晶体硅量子点%场致发射%冷阴极%弹道电子
納米晶體硅量子點%場緻髮射%冷陰極%彈道電子
납미정체규양자점%장치발사%랭음겁%탄도전자
在n-Si(4～5Ω·cm)衬底上淀积了400nm厚的纳米晶体硅(nc-Si)量子点薄膜,将其制备成场致发射的冷阴极.介绍了nc-Si量子点冷阴极的制备,场致发射特性的测试,解释了nc-Si量子点冷阴极的工作模型及电子弹道发射的原理.透射电子显微镜(TEM)对样片的结构分析证实样片中的nc-Si量子点具有很好的单晶结构;原子力显微镜(AFM)对样片的表面形貌分析表明,样片具有平滑的表面,有利于提高冷阴极的发射效率.
在n-Si(4～5Ω·cm)襯底上澱積瞭400nm厚的納米晶體硅(nc-Si)量子點薄膜,將其製備成場緻髮射的冷陰極.介紹瞭nc-Si量子點冷陰極的製備,場緻髮射特性的測試,解釋瞭nc-Si量子點冷陰極的工作模型及電子彈道髮射的原理.透射電子顯微鏡(TEM)對樣片的結構分析證實樣片中的nc-Si量子點具有很好的單晶結構;原子力顯微鏡(AFM)對樣片的錶麵形貌分析錶明,樣片具有平滑的錶麵,有利于提高冷陰極的髮射效率.
재n-Si(4～5Ω·cm)츤저상정적료400nm후적납미정체규(nc-Si)양자점박막,장기제비성장치발사적랭음겁.개소료nc-Si양자점랭음겁적제비,장치발사특성적측시,해석료nc-Si양자점랭음겁적공작모형급전자탄도발사적원리.투사전자현미경(TEM)대양편적결구분석증실양편중적nc-Si양자점구유흔호적단정결구;원자력현미경(AFM)대양편적표면형모분석표명,양편구유평활적표면,유리우제고랭음겁적발사효솔.
