机械工程师
機械工程師
궤계공정사
MECHANICAL ENGINEER
2006年
8期
53-55
,共3页
AFM%扫描控制%闭环%PI
AFM%掃描控製%閉環%PI
AFM%소묘공제%폐배%PI
在现有理论的基础上,设计出一种新型的AFM工作台扫描控制电路.介绍了该电路的设计思想,与现有的AFM控制系统相比,X、Y方向的运动采用闭环控制,提高了控制精度.文中还介绍了一种简单实用的PI调节电路,该电路具有结构简单、成本低、功耗小和控制精度高等优点.
在現有理論的基礎上,設計齣一種新型的AFM工作檯掃描控製電路.介紹瞭該電路的設計思想,與現有的AFM控製繫統相比,X、Y方嚮的運動採用閉環控製,提高瞭控製精度.文中還介紹瞭一種簡單實用的PI調節電路,該電路具有結構簡單、成本低、功耗小和控製精度高等優點.
재현유이론적기출상,설계출일충신형적AFM공작태소묘공제전로.개소료해전로적설계사상,여현유적AFM공제계통상비,X、Y방향적운동채용폐배공제,제고료공제정도.문중환개소료일충간단실용적PI조절전로,해전로구유결구간단、성본저、공모소화공제정도고등우점.
