传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2008年
4期
585-588
,共4页
谭宜勇%金桐%苏卫国%赵新%卢桂章
譚宜勇%金桐%囌衛國%趙新%盧桂章
담의용%금동%소위국%조신%로계장
MEMS%电容式微加速度计%虚拟工艺%虚拟运行
MEMS%電容式微加速度計%虛擬工藝%虛擬運行
MEMS%전용식미가속도계%허의공예%허의운행
以一个电容式微加速度计为设计实例来介绍了基于IP库MEMS设计的流程,其中主要包括四个部分:原理分析,结构设计,工艺流程和版图设计,封装及电路测试.首先根据需求设计出加速度计的基本结构;然后对该结构进行工艺流程和版图的设计;并利用虚拟工艺来进行仿真和可加工性验证;得到的三维结构通过接口导出到FEM中进行数值分析;接着将数值分析的结果进行基于FEM的运动学建模;求解得到的运动规律,以宏模型的形式存入IP库中;与此同时,利用虚拟运行进行可视化行为级的仿真.
以一箇電容式微加速度計為設計實例來介紹瞭基于IP庫MEMS設計的流程,其中主要包括四箇部分:原理分析,結構設計,工藝流程和版圖設計,封裝及電路測試.首先根據需求設計齣加速度計的基本結構;然後對該結構進行工藝流程和版圖的設計;併利用虛擬工藝來進行倣真和可加工性驗證;得到的三維結構通過接口導齣到FEM中進行數值分析;接著將數值分析的結果進行基于FEM的運動學建模;求解得到的運動規律,以宏模型的形式存入IP庫中;與此同時,利用虛擬運行進行可視化行為級的倣真.
이일개전용식미가속도계위설계실례래개소료기우IP고MEMS설계적류정,기중주요포괄사개부분:원리분석,결구설계,공예류정화판도설계,봉장급전로측시.수선근거수구설계출가속도계적기본결구;연후대해결구진행공예류정화판도적설계;병이용허의공예래진행방진화가가공성험증;득도적삼유결구통과접구도출도FEM중진행수치분석;접착장수치분석적결과진행기우FEM적운동학건모;구해득도적운동규률,이굉모형적형식존입IP고중;여차동시,이용허의운행진행가시화행위급적방진.
