氧化锌半导体薄膜在原子氧探测中的应用
양화자반도체박막재원자양탐측중적응용
ZnO film preparation and its application in atomic oxygen(AO)sensing
  • 万方数据
    航天器环境工程 항천기배경공정
    SPACECRAFT ENVIRONMENT ENGINEERING
    2009年 2期 114-117 ,共4页

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    氧化锌半导体薄膜是用于空间原子氧探测的一种敏感材料.采用脉冲激光沉积方法(PLD)在(001)取向的蓝宝石基底上制备出了高质量的氧化锌薄膜,并在地面原子氧模拟设备中考察了其原子氧敏感特性.结果表明,氧化锌薄膜对原子氧有较好的敏感特性,并且在受热后导电性能可以恢复,满足重复探测的要求.
    양화자반도체박막시용우공간원자양탐측적일충민감재료.채용맥충격광침적방법(PLD)재(001)취향적람보석기저상제비출료고질량적양화자박막,병재지면원자양모의설비중고찰료기원자양민감특성.결과표명,양화자박막대원자양유교호적민감특성,병차재수열후도전성능가이회복,만족중복탐측적요구.
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