材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2011年
19期
118-122
,共5页
罗成思%袁晓东%刘春明%向霞%章春来%吕海兵%祖小涛
囉成思%袁曉東%劉春明%嚮霞%章春來%呂海兵%祖小濤
라성사%원효동%류춘명%향하%장춘래%려해병%조소도
熔石英%CO2激光%激光诱导损伤%损伤修复
鎔石英%CO2激光%激光誘導損傷%損傷脩複
용석영%CO2격광%격광유도손상%손상수복
CO2激光对熔石英损伤修复的机理主要是通过激光的热效应使表面发生熔融,对损伤处起到弥合作用使元件的表面结构趋于完整.近几年CO2激光修复的方法按激光扫描方式可以分为光栅式扫描法和振镜扫描法.利用逐渐提高功率的扫描方式可以有效减少修复过程中气泡的产生,用高温退火的方式可以完全消除或者消除大部分修复后产生的应力,这取决于损伤点的尺寸.多种处理工艺相结合的方法可以有效提高修复后的损伤阈值.
CO2激光對鎔石英損傷脩複的機理主要是通過激光的熱效應使錶麵髮生鎔融,對損傷處起到瀰閤作用使元件的錶麵結構趨于完整.近幾年CO2激光脩複的方法按激光掃描方式可以分為光柵式掃描法和振鏡掃描法.利用逐漸提高功率的掃描方式可以有效減少脩複過程中氣泡的產生,用高溫退火的方式可以完全消除或者消除大部分脩複後產生的應力,這取決于損傷點的呎吋.多種處理工藝相結閤的方法可以有效提高脩複後的損傷閾值.
CO2격광대용석영손상수복적궤리주요시통과격광적열효응사표면발생용융,대손상처기도미합작용사원건적표면결구추우완정.근궤년CO2격광수복적방법안격광소묘방식가이분위광책식소묘법화진경소묘법.이용축점제고공솔적소묘방식가이유효감소수복과정중기포적산생,용고온퇴화적방식가이완전소제혹자소제대부분수복후산생적응력,저취결우손상점적척촌.다충처리공예상결합적방법가이유효제고수복후적손상역치.
