中国表面工程
中國錶麵工程
중국표면공정
CHINA SURFACE ENGINEERING
2011年
6期
47-52
,共6页
孙丽丽%杨会生%成浩%汪爱英
孫麗麗%楊會生%成浩%汪愛英
손려려%양회생%성호%왕애영
LABVIEW%多层膜%中频磁控溅射%硬度%择优取向
LABVIEW%多層膜%中頻磁控濺射%硬度%擇優取嚮
LABVIEW%다층막%중빈자공천사%경도%택우취향
采用LABVIEW软件控制N2气体流量,辅助中频磁控溅射制备不同占空比的(Al,Ti)N周期性多层膜,分别利用X射线衍射仪、场发射扫描电镜、纳米硬度仪研究了(Al,Ti)N周期性多层膜的组织结构和力学性能,研究表明:不同占空比下的薄膜只存在面心立方结构,多层膜具有一定的择优取向,择优取向随着占空比的改变而变化,当占空比为50％时,薄膜中存在(111)和(220)两种取向；多层的结构可以提高薄膜的结合强度和力学性能,获得的多层膜硬度最高为33.58 GPa,临界载荷在40 N左右,磨损情况也得到了明显的提高,主要是以粘合磨损为主;氮流量的增加有利于多层膜的性能改善.
採用LABVIEW軟件控製N2氣體流量,輔助中頻磁控濺射製備不同佔空比的(Al,Ti)N週期性多層膜,分彆利用X射線衍射儀、場髮射掃描電鏡、納米硬度儀研究瞭(Al,Ti)N週期性多層膜的組織結構和力學性能,研究錶明:不同佔空比下的薄膜隻存在麵心立方結構,多層膜具有一定的擇優取嚮,擇優取嚮隨著佔空比的改變而變化,噹佔空比為50％時,薄膜中存在(111)和(220)兩種取嚮；多層的結構可以提高薄膜的結閤彊度和力學性能,穫得的多層膜硬度最高為33.58 GPa,臨界載荷在40 N左右,磨損情況也得到瞭明顯的提高,主要是以粘閤磨損為主;氮流量的增加有利于多層膜的性能改善.
채용LABVIEW연건공제N2기체류량,보조중빈자공천사제비불동점공비적(Al,Ti)N주기성다층막,분별이용X사선연사의、장발사소묘전경、납미경도의연구료(Al,Ti)N주기성다층막적조직결구화역학성능,연구표명:불동점공비하적박막지존재면심립방결구,다층막구유일정적택우취향,택우취향수착점공비적개변이변화,당점공비위50％시,박막중존재(111)화(220)량충취향；다층적결구가이제고박막적결합강도화역학성능,획득적다층막경도최고위33.58 GPa,림계재하재40 N좌우,마손정황야득도료명현적제고,주요시이점합마손위주;담류량적증가유리우다층막적성능개선.
