CAJ | 학술논문

设计制作了一种三角形结构的金属材料光热驱动微开关.通过理论分析和ANSYS仿真,揭示了光热偏转量与三角形结构的微悬臂倾角之间的相互关系;基于同步辐射光源及LIGA技术,以金属镍(Ni)为基底材料,微加工制作出一个微悬臂长度1435μm、倾角6°的微开关器件;利用光热驱动控制与显微视频监控系统,进行了光热驱动及偏转量检测实验.实验结果表明,在波长808nm、功率135mW的半导体激光控制下,可产生约20μm的最大光热偏转量,从而验证了这一金属材料光热驱动微开关的可行性;同时,为设计制作基于金属材料的其他微型光热驱动器件及实际应用提供了技术基础.
설계제작료일충삼각형결구적금속재료광열구동미개관.통과이론분석화ANSYS방진,게시료광열편전량여삼각형결구적미현비경각지간적상호관계;기우동보복사광원급LIGA기술,이금속얼(Ni)위기저재료,미가공제작출일개미현비장도1435μm、경각6°적미개관기건;이용광열구동공제여현미시빈감공계통,진행료광열구동급편전량검측실험.실험결과표명,재파장808nm、공솔135mW적반도체격광공제하,가산생약20μm적최대광열편전량,종이험증료저일금속재료광열구동미개관적가행성;동시,위설계제작기우금속재료적기타미형광열구동기건급실제응용제공료기술기출.