机械
機械
궤계
MACHINERY
2011年
10期
14-17
,共4页
童超%崔益民%王荣明%方进
童超%崔益民%王榮明%方進
동초%최익민%왕영명%방진
透射电子显微镜%聚光镜%热应力%ANSYS
透射電子顯微鏡%聚光鏡%熱應力%ANSYS
투사전자현미경%취광경%열응력%ANSYS
透射电子显微镜的聚光镜的作用是将电子枪发射的电子束汇聚于试样平面上,并调节试样平面处束的孔径角、束的电流密度和照明斑点半径,因此聚光镜的设计与加工是电镜照明系统制造的关键部分.以我国自主设计的TDX-200透射电子显微镜的聚光镜为研究对象,采用有限元结构分析软件ANSYS对其进行热应力分析计算,为该类型的透射电子显微镜设计和制造提供可靠数据.
透射電子顯微鏡的聚光鏡的作用是將電子鎗髮射的電子束彙聚于試樣平麵上,併調節試樣平麵處束的孔徑角、束的電流密度和照明斑點半徑,因此聚光鏡的設計與加工是電鏡照明繫統製造的關鍵部分.以我國自主設計的TDX-200透射電子顯微鏡的聚光鏡為研究對象,採用有限元結構分析軟件ANSYS對其進行熱應力分析計算,為該類型的透射電子顯微鏡設計和製造提供可靠數據.
투사전자현미경적취광경적작용시장전자창발사적전자속회취우시양평면상,병조절시양평면처속적공경각、속적전류밀도화조명반점반경,인차취광경적설계여가공시전경조명계통제조적관건부분.이아국자주설계적TDX-200투사전자현미경적취광경위연구대상,채용유한원결구분석연건ANSYS대기진행열응력분석계산,위해류형적투사전자현미경설계화제조제공가고수거.
