光学技术
光學技術
광학기술
OPTICAL TECHNOLOGY
2007年
5期
748-750
,共3页
孙文科%马骥驰%李岩%殷纯永%许婕
孫文科%馬驥馳%李巖%慇純永%許婕
손문과%마기치%리암%은순영%허첩
纳米测量%F-P腔%非线性误差校准%拍频干涉法
納米測量%F-P腔%非線性誤差校準%拍頻榦涉法
납미측량%F-P강%비선성오차교준%박빈간섭법
为了研究可用于纳米、亚纳米精度的非线性误差校准系统,采用差拍F-P干涉法,在中国计量科学研究院研制的差拍F-P干涉仪基础上,设计并制作了适用于该系统的密封干涉光路的真空系统.通过与电容式测微仪的比对实验,证明了系统的抗干扰能力得到了改善,在大于半波长的测量范围内,系统的非线性度优于3.86nm.
為瞭研究可用于納米、亞納米精度的非線性誤差校準繫統,採用差拍F-P榦涉法,在中國計量科學研究院研製的差拍F-P榦涉儀基礎上,設計併製作瞭適用于該繫統的密封榦涉光路的真空繫統.通過與電容式測微儀的比對實驗,證明瞭繫統的抗榦擾能力得到瞭改善,在大于半波長的測量範圍內,繫統的非線性度優于3.86nm.
위료연구가용우납미、아납미정도적비선성오차교준계통,채용차박F-P간섭법,재중국계량과학연구원연제적차박F-P간섭의기출상,설계병제작료괄용우해계통적밀봉간섭광로적진공계통.통과여전용식측미의적비대실험,증명료계통적항간우능력득도료개선,재대우반파장적측량범위내,계통적비선성도우우3.86nm.
