金属学报
金屬學報
금속학보
ACTA METALLURGICA SINICA
2008年
9期
1099-1104
,共6页
刘志敏%杜昊%石南林%闻立时
劉誌敏%杜昊%石南林%聞立時
류지민%두호%석남림%문립시
铝膜%电导率%尺寸效应%微波吸收率%传输矩阵法
鋁膜%電導率%呎吋效應%微波吸收率%傳輸矩陣法
려막%전도솔%척촌효응%미파흡수솔%전수구진법
采用中频磁控溅射法(MFMS)制备不同厚度的铝膜;利用直线型四探针法测量不同厚度铝膜的电导率,研究了铝薄膜直流电导率随厚度的变化关系(尺寸效应);用矢量网络分析仪测量了铝膜与FR4环氧树脂玻纤板复合结构微波吸收率;研究了电导率尺寸效应对铝膜微波吸收性能的影响.结果表明:薄膜厚度对铝膜的电导率有明显影响;在铝膜与FR4环氧树脂玻纤板复合结构中,铝膜电导率的变化对复合结构的吸收率峰值影响不大,但对与吸收峰值对应的铅膜厚度影响显著.利用传输矩阵方法验证了实验结果.
採用中頻磁控濺射法(MFMS)製備不同厚度的鋁膜;利用直線型四探針法測量不同厚度鋁膜的電導率,研究瞭鋁薄膜直流電導率隨厚度的變化關繫(呎吋效應);用矢量網絡分析儀測量瞭鋁膜與FR4環氧樹脂玻纖闆複閤結構微波吸收率;研究瞭電導率呎吋效應對鋁膜微波吸收性能的影響.結果錶明:薄膜厚度對鋁膜的電導率有明顯影響;在鋁膜與FR4環氧樹脂玻纖闆複閤結構中,鋁膜電導率的變化對複閤結構的吸收率峰值影響不大,但對與吸收峰值對應的鉛膜厚度影響顯著.利用傳輸矩陣方法驗證瞭實驗結果.
채용중빈자공천사법(MFMS)제비불동후도적려막;이용직선형사탐침법측량불동후도려막적전도솔,연구료려박막직류전도솔수후도적변화관계(척촌효응);용시량망락분석의측량료려막여FR4배양수지파섬판복합결구미파흡수솔;연구료전도솔척촌효응대려막미파흡수성능적영향.결과표명:박막후도대려막적전도솔유명현영향;재려막여FR4배양수지파섬판복합결구중,려막전도솔적변화대복합결구적흡수솔봉치영향불대,단대여흡수봉치대응적연막후도영향현저.이용전수구진방법험증료실험결과.
