强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2009年
2期
235-239
,共5页
付联效%吴永刚%伍和云%焦宏飞%吕刚%王振华
付聯效%吳永剛%伍和雲%焦宏飛%呂剛%王振華
부련효%오영강%오화운%초굉비%려강%왕진화
滤光膜%质量吸收系数%自支撑%透过率%缺陷
濾光膜%質量吸收繫數%自支撐%透過率%缺陷
려광막%질량흡수계수%자지탱%투과솔%결함
依据材料的质量吸收系数和波长的关系,选择Cr和Al设计和制备30.4 nm自支撑滤光片.在制备时以NaCl为脱膜剂,以热蒸发方式蒸镀Al,以电子束蒸发方式蒸镀Cr,制备了30.4 nm的Cr/Al/Cr自支撑滤光膜,并对滤光片的表面缺陷进行了分析.通过显微镜观察,滤光膜均匀纯净,无明显针孔.Cr/Al/Cr自支撑滤光片在合肥国家间步辐射实验室进行了测量,Cr/Al/Cr厚度为5 nm/500 nm/5 nm和12.5 nm/500nm/12.5 nm的滤光片在30.4 nm波长处的透过率分别为7.6%和4.6%,透过率曲线和理论计算基本一致.用紫外分光光度计测量得滤光片在200～800 nm波长范围的透过率小于0.02%,满足使用要求.
依據材料的質量吸收繫數和波長的關繫,選擇Cr和Al設計和製備30.4 nm自支撐濾光片.在製備時以NaCl為脫膜劑,以熱蒸髮方式蒸鍍Al,以電子束蒸髮方式蒸鍍Cr,製備瞭30.4 nm的Cr/Al/Cr自支撐濾光膜,併對濾光片的錶麵缺陷進行瞭分析.通過顯微鏡觀察,濾光膜均勻純淨,無明顯針孔.Cr/Al/Cr自支撐濾光片在閤肥國傢間步輻射實驗室進行瞭測量,Cr/Al/Cr厚度為5 nm/500 nm/5 nm和12.5 nm/500nm/12.5 nm的濾光片在30.4 nm波長處的透過率分彆為7.6%和4.6%,透過率麯線和理論計算基本一緻.用紫外分光光度計測量得濾光片在200～800 nm波長範圍的透過率小于0.02%,滿足使用要求.
의거재료적질량흡수계수화파장적관계,선택Cr화Al설계화제비30.4 nm자지탱려광편.재제비시이NaCl위탈막제,이열증발방식증도Al,이전자속증발방식증도Cr,제비료30.4 nm적Cr/Al/Cr자지탱려광막,병대려광편적표면결함진행료분석.통과현미경관찰,려광막균균순정,무명현침공.Cr/Al/Cr자지탱려광편재합비국가간보복사실험실진행료측량,Cr/Al/Cr후도위5 nm/500 nm/5 nm화12.5 nm/500nm/12.5 nm적려광편재30.4 nm파장처적투과솔분별위7.6%화4.6%,투과솔곡선화이론계산기본일치.용자외분광광도계측량득려광편재200～800 nm파장범위적투과솔소우0.02%,만족사용요구.
