采用真空镀膜制备的叠层结构有机场效应晶体管的研究
채용진공도막제비적첩층결구유궤장효응정체관적연구
On the organic field-effect transistors with laminated structure prepared by vacuum coating
  • 万方数据
    真空 진공
    VACUUM
    2009年 5期 18-21 ,共4页

    赵明%李训栓%宋长安%马朝柱%袁建挺%汪润生%李远飞%张光辉%郭晗%叶早晨%彭应全

    조명%리훈전%송장안%마조주%원건정%왕윤생%리원비%장광휘%곽함%협조신%팽응전

    真空镀膜%酞菁铜CuPc%叠层结构%有机场效应晶体管(OFET) 真空鍍膜%酞菁銅CuPc%疊層結構%有機場效應晶體管(OFET)
    진공도막%태정동CuPc%첩층결구%유궤장효응정체관(OFET)
    本文报道了一种叠层结构有机场效应管,它有别于一般的顶接触式和底接触式结构OFET.该器件采用真空镀膜制备,以SiO2作为绝缘层,酞菁铜CuPc作为沟道层.测量出其输出特性曲线,可看见较明显的场效应特性.对器件温度特性的研究表明,漏极电流随着温度的升高而增大.XRD分析表明,在Si/SiO2和Si/SiO2/Al两种衬底上蒸镀制备的CuPc薄膜呈多晶结构,且两种衬底上的CuPc薄膜晶粒尺度大致相等.
    본문보도료일충첩층결구유궤장효응관,타유별우일반적정접촉식화저접촉식결구OFET.해기건채용진공도막제비,이SiO2작위절연층,태정동CuPc작위구도층.측량출기수출특성곡선,가간견교명현적장효응특성.대기건온도특성적연구표명,루겁전류수착온도적승고이증대.XRD분석표명,재Si/SiO2화Si/SiO2/Al량충츤저상증도제비적CuPc박막정다정결구,차량충츤저상적CuPc박막정립척도대치상등.
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