中国有色金属学报
中國有色金屬學報
중국유색금속학보
THE CHINESE JOURNAL OF NONFERROUS METALS
2010年
7期
1407-1411
,共5页
Sm-Fe GMFs%悬臂梁结构%低场磁敏性%频率%振幅
Sm-Fe GMFs%懸臂樑結構%低場磁敏性%頻率%振幅
Sm-Fe GMFs%현비량결구%저장자민성%빈솔%진폭
采用离子束溅射沉积(IBSD)法在聚酰亚胺衬底上沉积不同厚度Sm-Fe GMFs;采用磁致伸缩测量仪测试制备态和不同温度真空退火后薄膜悬臂梁结构自由端偏转量;利用赫姆霍兹系统测量制备态和真空退火后薄膜的幅频特性.结果表明:在低频(0～100 Hz)范围内,检测到悬臂梁结构Sm-Fe GMFs共振现象,薄膜经过200 ℃真空退火后,其低场磁敏性明显提高,在74.1 Hz的频率下发生共振,其振幅可达到300 μm,比制备态时提高了约3倍;制备的Sm-Fe GMFs显示出优异的幅频特性,振动与驱动电流的响应曲线表现出很好的跟随性.
採用離子束濺射沉積(IBSD)法在聚酰亞胺襯底上沉積不同厚度Sm-Fe GMFs;採用磁緻伸縮測量儀測試製備態和不同溫度真空退火後薄膜懸臂樑結構自由耑偏轉量;利用赫姆霍玆繫統測量製備態和真空退火後薄膜的幅頻特性.結果錶明:在低頻(0～100 Hz)範圍內,檢測到懸臂樑結構Sm-Fe GMFs共振現象,薄膜經過200 ℃真空退火後,其低場磁敏性明顯提高,在74.1 Hz的頻率下髮生共振,其振幅可達到300 μm,比製備態時提高瞭約3倍;製備的Sm-Fe GMFs顯示齣優異的幅頻特性,振動與驅動電流的響應麯線錶現齣很好的跟隨性.
채용리자속천사침적(IBSD)법재취선아알츤저상침적불동후도Sm-Fe GMFs;채용자치신축측량의측시제비태화불동온도진공퇴화후박막현비량결구자유단편전량;이용혁모곽자계통측량제비태화진공퇴화후박막적폭빈특성.결과표명:재저빈(0～100 Hz)범위내,검측도현비량결구Sm-Fe GMFs공진현상,박막경과200 ℃진공퇴화후,기저장자민성명현제고,재74.1 Hz적빈솔하발생공진,기진폭가체도300 μm,비제비태시제고료약3배;제비적Sm-Fe GMFs현시출우이적폭빈특성,진동여구동전류적향응곡선표현출흔호적근수성.
