西安工业大学学报
西安工業大學學報
서안공업대학학보
JOURNAL OF XI'AN TECHNOLOGICAL UNIVERSITY
2011年
1期
24-28
,共5页
田爱玲%党娟娟%王春慧%王红军%刘丙才
田愛玲%黨娟娟%王春慧%王紅軍%劉丙纔
전애령%당연연%왕춘혜%왕홍군%류병재
亚表层损伤%表面粗糙度%激光散射%共聚焦成像
亞錶層損傷%錶麵粗糙度%激光散射%共聚焦成像
아표층손상%표면조조도%격광산사%공취초성상
为了分析光学元件的加工工艺与亚表层损伤的关系,验证亚表层损伤/表面粗糙度比例预测模型的正确性,探索一种能够快速检测亚表层损伤的方法.文中基于激光散射和共聚焦显微成像理论,分析了共聚焦显微系统测量亚表层损伤的可行性;对三种不同工艺加工的光学表面,利用OPTELICS S130五波长共聚焦显微镜获得光学表面亚表层损伤的三维立体图和纵向数据图,在TalySurf CCI上测量了光学表面的粗糙度,分析了加工过程中磨粒直径变化规律对表面粗糙度和亚表层损伤深度的影响,验证了亚表层损伤深度和表面粗糙度之间呈单调递增了的非线性关系.研究结果表明,共聚焦显微成像技术可以实现亚表层的非破坏性定量检测.
為瞭分析光學元件的加工工藝與亞錶層損傷的關繫,驗證亞錶層損傷/錶麵粗糙度比例預測模型的正確性,探索一種能夠快速檢測亞錶層損傷的方法.文中基于激光散射和共聚焦顯微成像理論,分析瞭共聚焦顯微繫統測量亞錶層損傷的可行性;對三種不同工藝加工的光學錶麵,利用OPTELICS S130五波長共聚焦顯微鏡穫得光學錶麵亞錶層損傷的三維立體圖和縱嚮數據圖,在TalySurf CCI上測量瞭光學錶麵的粗糙度,分析瞭加工過程中磨粒直徑變化規律對錶麵粗糙度和亞錶層損傷深度的影響,驗證瞭亞錶層損傷深度和錶麵粗糙度之間呈單調遞增瞭的非線性關繫.研究結果錶明,共聚焦顯微成像技術可以實現亞錶層的非破壞性定量檢測.
위료분석광학원건적가공공예여아표층손상적관계,험증아표층손상/표면조조도비례예측모형적정학성,탐색일충능구쾌속검측아표층손상적방법.문중기우격광산사화공취초현미성상이론,분석료공취초현미계통측량아표층손상적가행성;대삼충불동공예가공적광학표면,이용OPTELICS S130오파장공취초현미경획득광학표면아표층손상적삼유입체도화종향수거도,재TalySurf CCI상측량료광학표면적조조도,분석료가공과정중마립직경변화규률대표면조조도화아표층손상심도적영향,험증료아표층손상심도화표면조조도지간정단조체증료적비선성관계.연구결과표명,공취초현미성상기술가이실현아표층적비파배성정량검측.
