国防科技大学学报
國防科技大學學報
국방과기대학학보
JOURNAL OF NATIONAL UNIVERSITY OF DEFENSE TECHNOLOGY
2011年
5期
54-58
,共5页
彭文强%吴宇列%李圣怡%刘勇
彭文彊%吳宇列%李聖怡%劉勇
팽문강%오우렬%리골이%류용
光波导%飞切%微模具%表面粗糙度
光波導%飛切%微模具%錶麵粗糙度
광파도%비절%미모구%표면조조도
针对目前模压制作工艺中高精度的光波导微模具加工工艺比较复杂的问题,基于金刚石超精密机械加工技术在光学元件微结构的广泛应用提出了光波导微模具的金刚石飞切高效快速的加工方法.通过超精密飞切加工系统以硬铝为模具材料进行了工艺优化的正交试验.试验结果表明:背吃刀量对光波导微结构表面质量的影响相当敏感,主轴转速对微结构表面质量的影响也比较大,进给量的影响则要小得多.综合考虑机床的稳定性及加工效率,确定了最优的光波导微模具的飞切加工工艺参数为:背吃刀量25μm、进给量20mm/min和主轴转速800r/min.通过优化工艺参数获得微结构侧壁表面粗糙度rms为17.1nm的光波导微模具.
針對目前模壓製作工藝中高精度的光波導微模具加工工藝比較複雜的問題,基于金剛石超精密機械加工技術在光學元件微結構的廣汎應用提齣瞭光波導微模具的金剛石飛切高效快速的加工方法.通過超精密飛切加工繫統以硬鋁為模具材料進行瞭工藝優化的正交試驗.試驗結果錶明:揹喫刀量對光波導微結構錶麵質量的影響相噹敏感,主軸轉速對微結構錶麵質量的影響也比較大,進給量的影響則要小得多.綜閤攷慮機床的穩定性及加工效率,確定瞭最優的光波導微模具的飛切加工工藝參數為:揹喫刀量25μm、進給量20mm/min和主軸轉速800r/min.通過優化工藝參數穫得微結構側壁錶麵粗糙度rms為17.1nm的光波導微模具.
침대목전모압제작공예중고정도적광파도미모구가공공예비교복잡적문제,기우금강석초정밀궤계가공기술재광학원건미결구적엄범응용제출료광파도미모구적금강석비절고효쾌속적가공방법.통과초정밀비절가공계통이경려위모구재료진행료공예우화적정교시험.시험결과표명:배흘도량대광파도미결구표면질량적영향상당민감,주축전속대미결구표면질량적영향야비교대,진급량적영향칙요소득다.종합고필궤상적은정성급가공효솔,학정료최우적광파도미모구적비절가공공예삼수위:배흘도량25μm、진급량20mm/min화주축전속800r/min.통과우화공예삼수획득미결구측벽표면조조도rms위17.1nm적광파도미모구.
