华中科技大学学报(自然科学版)
華中科技大學學報(自然科學版)
화중과기대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
2005年
1期
47-49
,共3页
胡用时%游龙%万仞%李佐宜
鬍用時%遊龍%萬仞%李佐宜
호용시%유룡%만인%리좌의
硬盘记录介质%射频磁控溅射%玻璃盘基%高密度
硬盤記錄介質%射頻磁控濺射%玻璃盤基%高密度
경반기록개질%사빈자공천사%파리반기%고밀도
采用射频磁控溅射方法制备了CoCrPt/CrTi玻璃盘基高密度硬盘薄膜记录介质,讨论并分析了溅射气体的气压、基片温度、底层和磁性层组分对高密度硬盘记录介质性能的影响,给出了介质的底层、磁记录层的最佳组分和溅射中最佳工艺参数范围.其最佳组分、结构与工艺参数为:Co68Cr17Pt15/Cr85Ti15双层膜结构,氩气压为0.56～0.60Pa,在550℃纯N2保护下保温1 h后在炉内自然冷却至室温.实验结果表明采用优化工艺条件,并经过退火处理后可以得到适于巨磁电阻磁头读写的高密度硬盘记录介质.
採用射頻磁控濺射方法製備瞭CoCrPt/CrTi玻璃盤基高密度硬盤薄膜記錄介質,討論併分析瞭濺射氣體的氣壓、基片溫度、底層和磁性層組分對高密度硬盤記錄介質性能的影響,給齣瞭介質的底層、磁記錄層的最佳組分和濺射中最佳工藝參數範圍.其最佳組分、結構與工藝參數為:Co68Cr17Pt15/Cr85Ti15雙層膜結構,氬氣壓為0.56～0.60Pa,在550℃純N2保護下保溫1 h後在爐內自然冷卻至室溫.實驗結果錶明採用優化工藝條件,併經過退火處理後可以得到適于巨磁電阻磁頭讀寫的高密度硬盤記錄介質.
채용사빈자공천사방법제비료CoCrPt/CrTi파리반기고밀도경반박막기록개질,토론병분석료천사기체적기압、기편온도、저층화자성층조분대고밀도경반기록개질성능적영향,급출료개질적저층、자기록층적최가조분화천사중최가공예삼수범위.기최가조분、결구여공예삼수위:Co68Cr17Pt15/Cr85Ti15쌍층막결구,아기압위0.56～0.60Pa,재550℃순N2보호하보온1 h후재로내자연냉각지실온.실험결과표명채용우화공예조건,병경과퇴화처리후가이득도괄우거자전조자두독사적고밀도경반기록개질.
