强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2006年
12期
2070-2073
,共4页
陈泽祥%曹贵川%张强%朱炳金%林祖伦
陳澤祥%曹貴川%張彊%硃炳金%林祖倫
진택상%조귀천%장강%주병금%림조륜
碳纳米管%化学气相沉积法%场致发射%加速器
碳納米管%化學氣相沉積法%場緻髮射%加速器
탄납미관%화학기상침적법%장치발사%가속기
设计了一种由TiN,Al,Fe和牺牲层构成的堆栈式催化剂层结构,采用微波等离子体化学气相沉积法实现碳纳米管阵列高速笔直生长.SEM和TEM结果表明,生长出来的碳纳米管为典型的多壁碳纳米管,长度和直径均匀,排列整齐并垂直于基底,生长速率大于5 μm/min,晶格缺陷少.场致发射测试结果表明:碳纳米管的发射阵列具有良好的电流发射稳定性,最大电流密度大于6 A/cm2.紫外光电子能谱法(UPS)测试出碳纳米管的功函数为4.59 eV,则相应的场致发射陈列的场增强因子大于1 400.
設計瞭一種由TiN,Al,Fe和犧牲層構成的堆棧式催化劑層結構,採用微波等離子體化學氣相沉積法實現碳納米管陣列高速筆直生長.SEM和TEM結果錶明,生長齣來的碳納米管為典型的多壁碳納米管,長度和直徑均勻,排列整齊併垂直于基底,生長速率大于5 μm/min,晶格缺陷少.場緻髮射測試結果錶明:碳納米管的髮射陣列具有良好的電流髮射穩定性,最大電流密度大于6 A/cm2.紫外光電子能譜法(UPS)測試齣碳納米管的功函數為4.59 eV,則相應的場緻髮射陳列的場增彊因子大于1 400.
설계료일충유TiN,Al,Fe화희생층구성적퇴잔식최화제층결구,채용미파등리자체화학기상침적법실현탄납미관진렬고속필직생장.SEM화TEM결과표명,생장출래적탄납미관위전형적다벽탄납미관,장도화직경균균,배렬정제병수직우기저,생장속솔대우5 μm/min,정격결함소.장치발사측시결과표명:탄납미관적발사진렬구유량호적전류발사은정성,최대전류밀도대우6 A/cm2.자외광전자능보법(UPS)측시출탄납미관적공함수위4.59 eV,칙상응적장치발사진렬적장증강인자대우1 400.
