激光驻波场形成Cr原子沉积纳米光栅的初步实验研究
격광주파장형성Cr원자침적납미광책적초보실험연구
The preliminary result of laser-focused Cr atomic deposition for fabricating nanostructure
  • 万方数据
    物理学报 물이학보

    2007年 3期 1365-1369 ,共5页

    马艳%张宝武%郑春兰%马珊珊%李佛生%王占山%李同保

    마염%장보무%정춘란%마산산%리불생%왕점산%리동보

    激光偶极力%纳米计量%原子沉积%蓝失谐 激光偶極力%納米計量%原子沉積%藍失諧
    격광우겁력%납미계량%원자침적%람실해
    利用激光驻波场会聚原子沉积纳米结构的技术可以用来研制纳米结构长度传递标准.当激光驻波场的频率大于原子的共振频率时,原子由于受到偶极力的作用将被会聚到驻波的波节处.采用了一种新的技术方案减小了实验对大的激光功率的要求.利用激光驻波场会聚准直性较好的Cr原子,并使其沉积在硅基片上形成纳米光栅结构.经原子力显微镜测试表明纳米光栅的周期为215nm.
    이용격광주파장회취원자침적납미결구적기술가이용래연제납미결구장도전체표준.당격광주파장적빈솔대우원자적공진빈솔시,원자유우수도우겁력적작용장피회취도주파적파절처.채용료일충신적기술방안감소료실험대대적격광공솔적요구.이용격광주파장회취준직성교호적Cr원자,병사기침적재규기편상형성납미광책결구.경원자력현미경측시표명납미광책적주기위215nm.
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