厦门大学学报（自然科学版）
廈門大學學報（自然科學版）
하문대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF XIAMEN UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE)
2007年
4期
525-528
,共4页
陈朝凤%黄东升%李玉花%曾人杰
陳朝鳳%黃東升%李玉花%曾人傑
진조봉%황동승%리옥화%증인걸
TiO2-x%氧空位%色心%光响应%溅射
TiO2-x%氧空位%色心%光響應%濺射
TiO2-x%양공위%색심%광향응%천사
用射频反应磁控溅射法,250℃时在石英玻璃片上沉积TiO2-x薄膜,用XRD、SEM、XPS、UV-Vis等对其进行表征.结果表明:未经热处理的薄膜呈锐钛矿型,薄膜表面粗糙,粒径约为30 nm的小晶粒聚集在一起,形成一个个"小层",层层错叠;经600℃保温2 h热处理的薄膜呈金红石型,晶粒较大,孔隙变大.XPS分析发现:未经热处理的薄膜表面存在着20%的三价钛,有与之相对应的较多的氧空位;经600℃在空气中热处理后,三价钛减少到8%,同时氧空位减少.UV-Vis吸收表明,氧空位的存在有利于TiO2-x的吸收边向可见光波段移动.
用射頻反應磁控濺射法,250℃時在石英玻璃片上沉積TiO2-x薄膜,用XRD、SEM、XPS、UV-Vis等對其進行錶徵.結果錶明:未經熱處理的薄膜呈銳鈦礦型,薄膜錶麵粗糙,粒徑約為30 nm的小晶粒聚集在一起,形成一箇箇"小層",層層錯疊;經600℃保溫2 h熱處理的薄膜呈金紅石型,晶粒較大,孔隙變大.XPS分析髮現:未經熱處理的薄膜錶麵存在著20%的三價鈦,有與之相對應的較多的氧空位;經600℃在空氣中熱處理後,三價鈦減少到8%,同時氧空位減少.UV-Vis吸收錶明,氧空位的存在有利于TiO2-x的吸收邊嚮可見光波段移動.
용사빈반응자공천사법,250℃시재석영파리편상침적TiO2-x박막,용XRD、SEM、XPS、UV-Vis등대기진행표정.결과표명:미경열처리적박막정예태광형,박막표면조조,립경약위30 nm적소정립취집재일기,형성일개개"소층",층층착첩;경600℃보온2 h열처리적박막정금홍석형,정립교대,공극변대.XPS분석발현:미경열처리적박막표면존재착20%적삼개태,유여지상대응적교다적양공위;경600℃재공기중열처리후,삼개태감소도8%,동시양공위감소.UV-Vis흡수표명,양공위적존재유리우TiO2-x적흡수변향가견광파단이동.
