电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2010年
8期
26-27,44
,共3页
王春梅%佟丽英%史继祥%王聪
王春梅%佟麗英%史繼祥%王聰
왕춘매%동려영%사계상%왕총
硼%扩散%硅片%弯曲度
硼%擴散%硅片%彎麯度
붕%확산%규편%만곡도
对硼扩散片弯曲度的控制技术进行了研究.结果发现单面扩散后硅片的弯曲度比双面扩散的弯曲度大,晶锭加工之前的热处理工艺有助于弯曲度的改善.在单面减薄后对硅片进行碱处理工艺,进一步改善了扩散片的弯曲度.通过对硅单晶进行热处理、以及对硅扩散片进行碱处理等一系列措施,使扩散片的弯曲度有了较大幅度的改善.
對硼擴散片彎麯度的控製技術進行瞭研究.結果髮現單麵擴散後硅片的彎麯度比雙麵擴散的彎麯度大,晶錠加工之前的熱處理工藝有助于彎麯度的改善.在單麵減薄後對硅片進行堿處理工藝,進一步改善瞭擴散片的彎麯度.通過對硅單晶進行熱處理、以及對硅擴散片進行堿處理等一繫列措施,使擴散片的彎麯度有瞭較大幅度的改善.
대붕확산편만곡도적공제기술진행료연구.결과발현단면확산후규편적만곡도비쌍면확산적만곡도대,정정가공지전적열처리공예유조우만곡도적개선.재단면감박후대규편진행감처리공예,진일보개선료확산편적만곡도.통과대규단정진행열처리、이급대규확산편진행감처리등일계렬조시,사확산편적만곡도유료교대폭도적개선.
