光学与光电技术
光學與光電技術
광학여광전기술
OPTICS & OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY
2011年
1期
60-63
,共4页
王虹%钱晓凡%庞永杰%张永安
王虹%錢曉凡%龐永傑%張永安
왕홍%전효범%방영걸%장영안
非球面检测%计算全息图%凹非球面%离轴%相移
非毬麵檢測%計算全息圖%凹非毬麵%離軸%相移
비구면검측%계산전식도%요비구면%리축%상이
为了精确检测大口径非球面面型质量,将CGH作为补偿器应用于凹非球面的离轴全息检测系统中.根据计算全息图的离轴全息检测系统检测凹非球面的基本原理,分析了离轴CGH的计算、制作过程,实现了对口径为150 mm,近轴半径为1499.7 mm,非球面系数为-1的凹非球面镜的检测.实验结果与轮廓仪检测结果吻合得很好.
為瞭精確檢測大口徑非毬麵麵型質量,將CGH作為補償器應用于凹非毬麵的離軸全息檢測繫統中.根據計算全息圖的離軸全息檢測繫統檢測凹非毬麵的基本原理,分析瞭離軸CGH的計算、製作過程,實現瞭對口徑為150 mm,近軸半徑為1499.7 mm,非毬麵繫數為-1的凹非毬麵鏡的檢測.實驗結果與輪廓儀檢測結果吻閤得很好.
위료정학검측대구경비구면면형질량,장CGH작위보상기응용우요비구면적리축전식검측계통중.근거계산전식도적리축전식검측계통검측요비구면적기본원리,분석료리축CGH적계산、제작과정,실현료대구경위150 mm,근축반경위1499.7 mm,비구면계수위-1적요비구면경적검측.실험결과여륜곽의검측결과문합득흔호.
