功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2011年
1期
46-50
,共5页
袁果%黎建明%张树玉%刘伟%闫兰琴
袁果%黎建明%張樹玉%劉偉%閆蘭琴
원과%려건명%장수옥%류위%염란금
掺钼氧化铟薄膜%氧分压%电学性能%光学性能
摻鉬氧化銦薄膜%氧分壓%電學性能%光學性能
참목양화인박막%양분압%전학성능%광학성능
采用射频磁控反应溅射法在k9玻璃衬底上制备了In2O3∶Mo(IMO)透明导电薄膜,分析了不同氧分压条件下IMO薄膜的晶体结构、化学成分及光电性能.结果表明:不同氧分压下制备的IMO薄膜具有不同晶粒的取向性;随着氧分压的增加,薄膜的载流子浓度、载流子迁移率先增加后减小;薄膜的电阻率呈现先增加再减少然后再增加的趋势.在可见及近红外区,有氧气氛下制备的IMO薄膜的平均透过率大于80%以上,并随氧分压的升高而增大.
採用射頻磁控反應濺射法在k9玻璃襯底上製備瞭In2O3∶Mo(IMO)透明導電薄膜,分析瞭不同氧分壓條件下IMO薄膜的晶體結構、化學成分及光電性能.結果錶明:不同氧分壓下製備的IMO薄膜具有不同晶粒的取嚮性;隨著氧分壓的增加,薄膜的載流子濃度、載流子遷移率先增加後減小;薄膜的電阻率呈現先增加再減少然後再增加的趨勢.在可見及近紅外區,有氧氣氛下製備的IMO薄膜的平均透過率大于80%以上,併隨氧分壓的升高而增大.
채용사빈자공반응천사법재k9파리츤저상제비료In2O3∶Mo(IMO)투명도전박막,분석료불동양분압조건하IMO박막적정체결구、화학성분급광전성능.결과표명:불동양분압하제비적IMO박막구유불동정립적취향성;수착양분압적증가,박막적재류자농도、재류자천이솔선증가후감소;박막적전조솔정현선증가재감소연후재증가적추세.재가견급근홍외구,유양기분하제비적IMO박막적평균투과솔대우80%이상,병수양분압적승고이증대.
