农业机械学报
農業機械學報
농업궤계학보
TRANSACTIONS OF THE CHINESE SOCIETY OF AGRICULTURAL MACHINERY
2011年
4期
224-228
,共5页
苗恩铭%陈甦欣%牛鹏程%颜焱%费业泰
苗恩銘%陳甦訢%牛鵬程%顏焱%費業泰
묘은명%진소흔%우붕정%안염%비업태
飞秒激光%熔化%热传递%激光能量密度
飛秒激光%鎔化%熱傳遞%激光能量密度
비초격광%용화%열전체%격광능량밀도
对飞秒激光能量密度为0.108～28.68 J/cm2范围内加工的硅孔表面形貌尺寸进行分析,同时对热传递现象进行研究.理论分析了飞秒激光加工区域热传导时间及温度分布,并将其与实验测量值进行对比,验证了热影响的存在.通过理论与实验分析说明了在高能量飞秒激光加工中热传递现象不可避免,并获得了较好的孔加工质量的激光能量合理参数.
對飛秒激光能量密度為0.108～28.68 J/cm2範圍內加工的硅孔錶麵形貌呎吋進行分析,同時對熱傳遞現象進行研究.理論分析瞭飛秒激光加工區域熱傳導時間及溫度分佈,併將其與實驗測量值進行對比,驗證瞭熱影響的存在.通過理論與實驗分析說明瞭在高能量飛秒激光加工中熱傳遞現象不可避免,併穫得瞭較好的孔加工質量的激光能量閤理參數.
대비초격광능량밀도위0.108～28.68 J/cm2범위내가공적규공표면형모척촌진행분석,동시대열전체현상진행연구.이론분석료비초격광가공구역열전도시간급온도분포,병장기여실험측량치진행대비,험증료열영향적존재.통과이론여실험분석설명료재고능량비초격광가공중열전체현상불가피면,병획득료교호적공가공질량적격광능량합리삼수.
