微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2002年
4期
21-25
,共5页
缩小投影电子束曝光%调试%透射电镜(TEM)%电子束曝光
縮小投影電子束曝光%調試%透射電鏡(TEM)%電子束曝光
축소투영전자속폭광%조시%투사전경(TEM)%전자속폭광
详细介绍了在透射电镜上进行缩小投影电子束曝光技术原理性实验的主要调试过程.它充分利用了透射电镜本身的功能与特点.整个调试方法不仅可获得高分辨率图形,而且为下一步的研究工作提供了比较好的工作参数.
詳細介紹瞭在透射電鏡上進行縮小投影電子束曝光技術原理性實驗的主要調試過程.它充分利用瞭透射電鏡本身的功能與特點.整箇調試方法不僅可穫得高分辨率圖形,而且為下一步的研究工作提供瞭比較好的工作參數.
상세개소료재투사전경상진행축소투영전자속폭광기술원이성실험적주요조시과정.타충분이용료투사전경본신적공능여특점.정개조시방법불부가획득고분변솔도형,이차위하일보적연구공작제공료비교호적공작삼수.
