人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2000年
1期
30-33
,共4页
王和明%蔡以超%杨曜源%东燕萍%王永杰%闫泽武
王和明%蔡以超%楊曜源%東燕萍%王永傑%閆澤武
왕화명%채이초%양요원%동연평%왕영걸%염택무
CVD%硫化锌%红外材料%块状多晶%红外光谱
CVD%硫化鋅%紅外材料%塊狀多晶%紅外光譜
CVD%류화자%홍외재료%괴상다정%홍외광보
采用化学气相沉积方法成功地生长出硫化锌多晶红外光学材料.加工后的成品多晶硫化锌尺寸为直径150mm,厚度为6mm;既有曲面的整流罩,又有平面窗口,蒸镀多层防反膜.由于采用了自制的活性硫化氢为原料,以及较好的工艺生长条件,生长的硫化锌红外光学材料长波透射比达到理论值75%.镀多层防反膜以后,中、长红外波段透过率均有所提高,但镀膜技术还有待改进.文中对硫化锌的透过曲线进行了分析与比较,结果表明我们生长的硫化锌杂质较少,是红外透过率高的原因.文中还测试了硫化锌的其它主要性能.
採用化學氣相沉積方法成功地生長齣硫化鋅多晶紅外光學材料.加工後的成品多晶硫化鋅呎吋為直徑150mm,厚度為6mm;既有麯麵的整流罩,又有平麵窗口,蒸鍍多層防反膜.由于採用瞭自製的活性硫化氫為原料,以及較好的工藝生長條件,生長的硫化鋅紅外光學材料長波透射比達到理論值75%.鍍多層防反膜以後,中、長紅外波段透過率均有所提高,但鍍膜技術還有待改進.文中對硫化鋅的透過麯線進行瞭分析與比較,結果錶明我們生長的硫化鋅雜質較少,是紅外透過率高的原因.文中還測試瞭硫化鋅的其它主要性能.
채용화학기상침적방법성공지생장출류화자다정홍외광학재료.가공후적성품다정류화자척촌위직경150mm,후도위6mm;기유곡면적정류조,우유평면창구,증도다층방반막.유우채용료자제적활성류화경위원료,이급교호적공예생장조건,생장적류화자홍외광학재료장파투사비체도이론치75%.도다층방반막이후,중、장홍외파단투과솔균유소제고,단도막기술환유대개진.문중대류화자적투과곡선진행료분석여비교,결과표명아문생장적류화자잡질교소,시홍외투과솔고적원인.문중환측시료류화자적기타주요성능.
