真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2004年
2期
81-86
,共6页
沈杰%沃松涛%崔晓莉%杨锡良%章壮健
瀋傑%沃鬆濤%崔曉莉%楊錫良%章壯健
침걸%옥송도%최효리%양석량%장장건
射频磁控溅射%二氧化钛%薄膜%亲水性%光催化
射頻磁控濺射%二氧化鈦%薄膜%親水性%光催化
사빈자공천사%이양화태%박막%친수성%광최화
在室温下采用射频溅射法制备纳米TiO2薄膜,并用XRD、AFM、Raman谱仪等手段研究了不同溅射气压及不同退火温度处理后薄膜的结构及其相应的亲水性、光催化能力.结果表明:在室温下制备的薄膜为无定形结构,当退火温度超过400 ℃时转化为锐钛矿结构.在400 ℃下退火1 h的薄膜具有良好的亲水性和光催化能力.
在室溫下採用射頻濺射法製備納米TiO2薄膜,併用XRD、AFM、Raman譜儀等手段研究瞭不同濺射氣壓及不同退火溫度處理後薄膜的結構及其相應的親水性、光催化能力.結果錶明:在室溫下製備的薄膜為無定形結構,噹退火溫度超過400 ℃時轉化為銳鈦礦結構.在400 ℃下退火1 h的薄膜具有良好的親水性和光催化能力.
재실온하채용사빈천사법제비납미TiO2박막,병용XRD、AFM、Raman보의등수단연구료불동천사기압급불동퇴화온도처리후박막적결구급기상응적친수성、광최화능력.결과표명:재실온하제비적박막위무정형결구,당퇴화온도초과400 ℃시전화위예태광결구.재400 ℃하퇴화1 h적박막구유량호적친수성화광최화능력.
