传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2006年
9期
26-28
,共3页
氧传感器%射频磁控溅射%PN结%金红石相
氧傳感器%射頻磁控濺射%PN結%金紅石相
양전감기%사빈자공천사%PN결%금홍석상
采用薄膜技术研制了一种以硅PN结结构为基底材料的TiO2氧传感器,阐述了该传感器的工作原理、结构设计、工艺流程及其特性.给出了磁控溅射工艺制备银电极及TiO2薄膜的方法,利用X射线衍射(XRD)标定了TiO2薄膜的金红石相晶体结构,通过扫描电镜(SEM)分析了薄膜的表面形貌及晶粒结构,讨论了TiO2的氧敏感机理,测试薄膜的敏感特性及响应特性.实验结果表明:硅PN结基底TiO2氧传感器具有工作温度低、低功耗、体积小、线性化好的优点.
採用薄膜技術研製瞭一種以硅PN結結構為基底材料的TiO2氧傳感器,闡述瞭該傳感器的工作原理、結構設計、工藝流程及其特性.給齣瞭磁控濺射工藝製備銀電極及TiO2薄膜的方法,利用X射線衍射(XRD)標定瞭TiO2薄膜的金紅石相晶體結構,通過掃描電鏡(SEM)分析瞭薄膜的錶麵形貌及晶粒結構,討論瞭TiO2的氧敏感機理,測試薄膜的敏感特性及響應特性.實驗結果錶明:硅PN結基底TiO2氧傳感器具有工作溫度低、低功耗、體積小、線性化好的優點.
채용박막기술연제료일충이규PN결결구위기저재료적TiO2양전감기,천술료해전감기적공작원리、결구설계、공예류정급기특성.급출료자공천사공예제비은전겁급TiO2박막적방법,이용X사선연사(XRD)표정료TiO2박막적금홍석상정체결구,통과소묘전경(SEM)분석료박막적표면형모급정립결구,토론료TiO2적양민감궤리,측시박막적민감특성급향응특성.실험결과표명:규PN결기저TiO2양전감기구유공작온도저、저공모、체적소、선성화호적우점.
