CAJ | 학술논문

利用射频共溅射方法制备了一系列不同金属体积分数fv的Fe-SiO2金属-绝缘体颗粒膜.系统地研究了薄膜的微结构、磁性、隧道磁电阻效应(TMR)和巨霍耳效应(GHE).在fv=0.33处得到最大磁电阻值为-3.3%,fv=0.52处饱和霍耳电阻率达最大值,为18.5μΩ·cm.在300℃以内的不同温度下将Feo0.52(SiO2)0.48颗粒膜回火,霍耳电阻率随温度的变化不大,即样品具有良好的热稳定性.这表明Fe0.52(SiO2)0.48颗粒膜在工作于300℃下的磁场传感器方面有很好的应用前景
이용사빈공천사방법제비료일계렬불동금속체적분수fv적Fe-SiO2금속-절연체과립막.계통지연구료박막적미결구、자성、수도자전조효응(TMR)화거곽이효응(GHE).재fv=0.33처득도최대자전조치위-3.3%,fv=0.52처포화곽이전조솔체최대치,위18.5μΩ·cm.재300℃이내적불동온도하장Feo0.52(SiO2)0.48과립막회화,곽이전조솔수온도적변화불대,즉양품구유량호적열은정성.저표명Fe0.52(SiO2)0.48과립막재공작우300℃하적자장전감기방면유흔호적응용전경