CAJ | 학술논문

针对两个物体或平面的相对位移和间隙的纳米级变化量,提出并研究了一种光栅测量方法.采用两组周期接近的微光栅重叠可以产生一组周期分布的条纹,条纹的周期相对于两光栅周期被大幅度放大,并将光栅间的位移反应在条纹的相位信息中.建立了关于双光栅产生叠栅条纹的复振幅分布的近似理论模型.基于该模型设计了一种能够测量两个平行平面相对位移和间隙的方法.针对光栅移动产生相应条纹的过程进行了数值计算.结果表明,两个平行平面的相对微位移将引起相应条纹的大位移,并且该方法最终能在纳米级以内分辨两平面(物体)的相对位移或者间隙变化量.
침대량개물체혹평면적상대위이화간극적납미급변화량,제출병연구료일충광책측량방법.채용량조주기접근적미광책중첩가이산생일조주기분포적조문,조문적주기상대우량광책주기피대폭도방대,병장광책간적위이반응재조문적상위신식중.건립료관우쌍광책산생첩책조문적복진폭분포적근사이론모형.기우해모형설계료일충능구측량량개평행평면상대위이화간극적방법.침대광책이동산생상응조문적과정진행료수치계산.결과표명,량개평행평면적상대미위이장인기상응조문적대위이,병차해방법최종능재납미급이내분변량평면(물체)적상대위이혹자간극변화량.