机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2010年
8期
114-120
,共7页
任大海%卢凯%戴震宇%尤政
任大海%盧凱%戴震宇%尤政
임대해%로개%대진우%우정
微机电系统%热电%致冷器%超晶格薄膜
微機電繫統%熱電%緻冷器%超晶格薄膜
미궤전계통%열전%치랭기%초정격박막
介绍热电材料、热电器件的原理及发展历史,从材料及结构两方面,对基于微机电系统加工工艺的微型热电致冷器的最新研究进展进行综述,比较不同材料及不同结构的性能特点,对块体热电材料和低维热电材料的研究进展进行介绍,着重分析超晶格薄膜材料及Cross-Plane型器件,指出研究具有更高优值系数的新型材料,在维持Seebeck系数不变的同时提高电导率并降低热导率,及采用新的加工工艺优化致冷器的结构,减小接触电阻、接触热阻等,是提高热电致冷器性能的有效手段.
介紹熱電材料、熱電器件的原理及髮展歷史,從材料及結構兩方麵,對基于微機電繫統加工工藝的微型熱電緻冷器的最新研究進展進行綜述,比較不同材料及不同結構的性能特點,對塊體熱電材料和低維熱電材料的研究進展進行介紹,著重分析超晶格薄膜材料及Cross-Plane型器件,指齣研究具有更高優值繫數的新型材料,在維持Seebeck繫數不變的同時提高電導率併降低熱導率,及採用新的加工工藝優化緻冷器的結構,減小接觸電阻、接觸熱阻等,是提高熱電緻冷器性能的有效手段.
개소열전재료、열전기건적원리급발전역사,종재료급결구량방면,대기우미궤전계통가공공예적미형열전치랭기적최신연구진전진행종술,비교불동재료급불동결구적성능특점,대괴체열전재료화저유열전재료적연구진전진행개소,착중분석초정격박막재료급Cross-Plane형기건,지출연구구유경고우치계수적신형재료,재유지Seebeck계수불변적동시제고전도솔병강저열도솔,급채용신적가공공예우화치랭기적결구,감소접촉전조、접촉열조등,시제고열전치랭기성능적유효수단.
