传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2011年
6期
20-23
,共4页
陈晖%汪红%李光杨%姚锦元%王艳%丁桂甫
陳暉%汪紅%李光楊%姚錦元%王豔%丁桂甫
진휘%왕홍%리광양%요금원%왕염%정계보
微电铸%对流-扩散传质%传质阻力%流动方式
微電鑄%對流-擴散傳質%傳質阻力%流動方式
미전주%대류-확산전질%전질조력%류동방식
利用有限元分析软件FLUENT对微电铸镀层均匀性进行了分析.对当物质传递成为金属沉积的控制步骤时,进行铸层均匀性的数值模拟,研究不同流动方式对均匀性的影响.模拟结果表明:当物质传递成为控制步骤时,增强对流-扩散虽然有利于物质传输,但均匀搅拌更有利于镀层均匀性;垂直流动相对于水平流动因离子到达阴极表面各处的传质阻力相同,故能有效改善镀层形貌的均匀性.
利用有限元分析軟件FLUENT對微電鑄鍍層均勻性進行瞭分析.對噹物質傳遞成為金屬沉積的控製步驟時,進行鑄層均勻性的數值模擬,研究不同流動方式對均勻性的影響.模擬結果錶明:噹物質傳遞成為控製步驟時,增彊對流-擴散雖然有利于物質傳輸,但均勻攪拌更有利于鍍層均勻性;垂直流動相對于水平流動因離子到達陰極錶麵各處的傳質阻力相同,故能有效改善鍍層形貌的均勻性.
이용유한원분석연건FLUENT대미전주도층균균성진행료분석.대당물질전체성위금속침적적공제보취시,진행주층균균성적수치모의,연구불동류동방식대균균성적영향.모의결과표명:당물질전체성위공제보취시,증강대류-확산수연유리우물질전수,단균균교반경유리우도층균균성;수직류동상대우수평류동인리자도체음겁표면각처적전질조력상동,고능유효개선도층형모적균균성.
