半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2012年
6期
452-455
,共4页
SPR传感器%表面等离子体激元%金属光栅%透射%共振峰
SPR傳感器%錶麵等離子體激元%金屬光柵%透射%共振峰
SPR전감기%표면등리자체격원%금속광책%투사%공진봉
用磁控溅射技术在双面抛光的蓝宝石衬底上沉积了20 nm Ti和100 nm Au的金属薄膜,通过标准光刻工艺制备出1.6和2.0 μm两种周期结构的一维光栅表面等离子体共振(SPR)传感器.用时域有限差分算法(FDTD)模拟仿真并结合实验测试的透射光谱,研究分析了不同周期结构的金属薄膜光栅型SPR传感器的特性.基于金属光栅耦合,利用表面等离子体激元(SPP)的局域特性和光栅的选频特性,实现了SPR传感器的信号增强和滤波功能.研究结果表明,利用金属薄膜光栅表面介质的变化引起的光栅透射光谱中激发表面等离子体共振峰的位置变化,可以获得被测物体的物理、生物和化学等相关特征信息.
用磁控濺射技術在雙麵拋光的藍寶石襯底上沉積瞭20 nm Ti和100 nm Au的金屬薄膜,通過標準光刻工藝製備齣1.6和2.0 μm兩種週期結構的一維光柵錶麵等離子體共振(SPR)傳感器.用時域有限差分算法(FDTD)模擬倣真併結閤實驗測試的透射光譜,研究分析瞭不同週期結構的金屬薄膜光柵型SPR傳感器的特性.基于金屬光柵耦閤,利用錶麵等離子體激元(SPP)的跼域特性和光柵的選頻特性,實現瞭SPR傳感器的信號增彊和濾波功能.研究結果錶明,利用金屬薄膜光柵錶麵介質的變化引起的光柵透射光譜中激髮錶麵等離子體共振峰的位置變化,可以穫得被測物體的物理、生物和化學等相關特徵信息.
용자공천사기술재쌍면포광적람보석츤저상침적료20 nm Ti화100 nm Au적금속박막,통과표준광각공예제비출1.6화2.0 μm량충주기결구적일유광책표면등리자체공진(SPR)전감기.용시역유한차분산법(FDTD)모의방진병결합실험측시적투사광보,연구분석료불동주기결구적금속박막광책형SPR전감기적특성.기우금속광책우합,이용표면등리자체격원(SPP)적국역특성화광책적선빈특성,실현료SPR전감기적신호증강화려파공능.연구결과표명,이용금속박막광책표면개질적변화인기적광책투사광보중격발표면등리자체공진봉적위치변화,가이획득피측물체적물리、생물화화학등상관특정신식.
