材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2012年
10期
61-63
,共3页
铁电薄膜%共掺杂%BNT(Sc,AJ)薄膜%化学溶液沉积法
鐵電薄膜%共摻雜%BNT(Sc,AJ)薄膜%化學溶液沉積法
철전박막%공참잡%BNT(Sc,AJ)박막%화학용액침적법
利用化学溶液沉积法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基底和700℃条件下分别制备了Nd和Sc/Al/( Sc,Al)共掺杂的钛酸铋薄膜Bi3.15 Nd0.85 Ti2.94 Sc0.06O12 (BNTSc)、Bi3.15 Nd0.85 Ti2.94 Al0.06O12(BNTAl)和Bi3.15Nd0.85 Ti2.94(Sc0.03,Al0.03)O12(BNT(Sc,Al)),并研究和对比了这一系列薄膜的微结构、介电、铁电和漏电流等特性.结果发现BNT( Sc,Al)薄膜具有较高的剩余极化强度和介电常数,其漏电流密度低于BNTAl薄膜.另外,还讨论了相关的物理机制.
利用化學溶液沉積法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基底和700℃條件下分彆製備瞭Nd和Sc/Al/( Sc,Al)共摻雜的鈦痠鉍薄膜Bi3.15 Nd0.85 Ti2.94 Sc0.06O12 (BNTSc)、Bi3.15 Nd0.85 Ti2.94 Al0.06O12(BNTAl)和Bi3.15Nd0.85 Ti2.94(Sc0.03,Al0.03)O12(BNT(Sc,Al)),併研究和對比瞭這一繫列薄膜的微結構、介電、鐵電和漏電流等特性.結果髮現BNT( Sc,Al)薄膜具有較高的剩餘極化彊度和介電常數,其漏電流密度低于BNTAl薄膜.另外,還討論瞭相關的物理機製.
이용화학용액침적법재Pt/Ti/SiO2/Si(100)기저화700℃조건하분별제비료Nd화Sc/Al/( Sc,Al)공참잡적태산필박막Bi3.15 Nd0.85 Ti2.94 Sc0.06O12 (BNTSc)、Bi3.15 Nd0.85 Ti2.94 Al0.06O12(BNTAl)화Bi3.15Nd0.85 Ti2.94(Sc0.03,Al0.03)O12(BNT(Sc,Al)),병연구화대비료저일계렬박막적미결구、개전、철전화루전류등특성.결과발현BNT( Sc,Al)박막구유교고적잉여겁화강도화개전상수,기루전류밀도저우BNTAl박막.령외,환토론료상관적물리궤제.
