材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2010年
16期
9-11,17
,共4页
郭瑞%李东临%王怡%武光明%邢光建
郭瑞%李東臨%王怡%武光明%邢光建
곽서%리동림%왕이%무광명%형광건
MgxZn1-xO薄膜%射频磁控溅射%透过率%光致发光谱
MgxZn1-xO薄膜%射頻磁控濺射%透過率%光緻髮光譜
MgxZn1-xO박막%사빈자공천사%투과솔%광치발광보
利用射频磁控溅射技术在玻璃衬底上沉积了MgxZn1-xO(x=0～0.2)薄膜.采用X射线衍射仪、紫外-可见光分光光度计和荧光光谱仪研究了Mg掺杂量对MgxZn1-xO薄膜结构与光学性能的影响.XRD图谱表明,MgxZn1-xO薄膜均为六角纤锌矿结构,并且呈现出C轴择优生长特性,当x>0.1时薄膜出现(100)面衍射峰,薄膜的c轴择优生长特性减弱,随着x值的增加,晶格常数c逐渐减小.紫外可见光透射光谱表明,Mg的掺入提高了薄膜在可见光范围内的透过率,同时使薄膜的禁带宽度增大.PL谱分析显示,Mg的掺入使薄膜的紫外发射峰和蓝光发射带发生蓝移,当x=0.1时近带边发射峰与杂质发射的强度比值最高.
利用射頻磁控濺射技術在玻璃襯底上沉積瞭MgxZn1-xO(x=0～0.2)薄膜.採用X射線衍射儀、紫外-可見光分光光度計和熒光光譜儀研究瞭Mg摻雜量對MgxZn1-xO薄膜結構與光學性能的影響.XRD圖譜錶明,MgxZn1-xO薄膜均為六角纖鋅礦結構,併且呈現齣C軸擇優生長特性,噹x>0.1時薄膜齣現(100)麵衍射峰,薄膜的c軸擇優生長特性減弱,隨著x值的增加,晶格常數c逐漸減小.紫外可見光透射光譜錶明,Mg的摻入提高瞭薄膜在可見光範圍內的透過率,同時使薄膜的禁帶寬度增大.PL譜分析顯示,Mg的摻入使薄膜的紫外髮射峰和藍光髮射帶髮生藍移,噹x=0.1時近帶邊髮射峰與雜質髮射的彊度比值最高.
이용사빈자공천사기술재파리츤저상침적료MgxZn1-xO(x=0～0.2)박막.채용X사선연사의、자외-가견광분광광도계화형광광보의연구료Mg참잡량대MgxZn1-xO박막결구여광학성능적영향.XRD도보표명,MgxZn1-xO박막균위륙각섬자광결구,병차정현출C축택우생장특성,당x>0.1시박막출현(100)면연사봉,박막적c축택우생장특성감약,수착x치적증가,정격상수c축점감소.자외가견광투사광보표명,Mg적참입제고료박막재가견광범위내적투과솔,동시사박막적금대관도증대.PL보분석현시,Mg적참입사박막적자외발사봉화람광발사대발생람이,당x=0.1시근대변발사봉여잡질발사적강도비치최고.
