光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2010年
8期
1801-1806
,共6页
崔天刚%王永刚%马冬梅%马文生%陈波
崔天剛%王永剛%馬鼕梅%馬文生%陳波
최천강%왕영강%마동매%마문생%진파
Wolter I型反射镜%长程轮廓测量仪%顺序扫描%倾斜度测量
Wolter I型反射鏡%長程輪廓測量儀%順序掃描%傾斜度測量
Wolter I형반사경%장정륜곽측량의%순서소묘%경사도측량
由于传统的基于干涉原理的测量方法无法对用于太阳X射线成像仪的Wolter I型旋转非球面反射镜进行检测,本文提出了一种在线检测此类反射镜面形的方法.以长程轮廓测量仪的原理为基础,经过改进、整合测量装置并在扫描机构中加入五角棱镜转折光路,搭建了一套Wolter I型旋转非球面反射镜面形检测装置,并对该装置的工作原理、结构参数设定以及数据处理算法等进行了研究.用一块标准平面反射镜作为基准面对该装置定标,并通过实测反射镜样品进行验证实验.实验结果表明:该装置的倾斜度测量误差为RMS 6.7 μrad,重复精度为0.75 μrad,轮廓测量精度约为PV 0.24λ,RMS 0.07λ,基本满足设计要求.
由于傳統的基于榦涉原理的測量方法無法對用于太暘X射線成像儀的Wolter I型鏇轉非毬麵反射鏡進行檢測,本文提齣瞭一種在線檢測此類反射鏡麵形的方法.以長程輪廓測量儀的原理為基礎,經過改進、整閤測量裝置併在掃描機構中加入五角稜鏡轉摺光路,搭建瞭一套Wolter I型鏇轉非毬麵反射鏡麵形檢測裝置,併對該裝置的工作原理、結構參數設定以及數據處理算法等進行瞭研究.用一塊標準平麵反射鏡作為基準麵對該裝置定標,併通過實測反射鏡樣品進行驗證實驗.實驗結果錶明:該裝置的傾斜度測量誤差為RMS 6.7 μrad,重複精度為0.75 μrad,輪廓測量精度約為PV 0.24λ,RMS 0.07λ,基本滿足設計要求.
유우전통적기우간섭원리적측량방법무법대용우태양X사선성상의적Wolter I형선전비구면반사경진행검측,본문제출료일충재선검측차류반사경면형적방법.이장정륜곽측량의적원리위기출,경과개진、정합측량장치병재소묘궤구중가입오각릉경전절광로,탑건료일투Wolter I형선전비구면반사경면형검측장치,병대해장치적공작원리、결구삼수설정이급수거처리산법등진행료연구.용일괴표준평면반사경작위기준면대해장치정표,병통과실측반사경양품진행험증실험.실험결과표명:해장치적경사도측량오차위RMS 6.7 μrad,중복정도위0.75 μrad,륜곽측량정도약위PV 0.24λ,RMS 0.07λ,기본만족설계요구.
