CAJ | 학술논문

微型加速度开关是用于空间飞行体中感受加速度并完成致动的重要惯性器件.本文采用UV-LIGA技术,结合SU-8厚胶工艺、微电铸工艺以及牺牲层技术,制作了微型螺旋形加速度开关.研究了牺牲层工艺、SU-8光刻技术以及螺旋形弹簧形变控制等微细加工的工艺细节;分析了多种牺牲层材料的特性,优选了与工艺相适应的Zn牺牲层体系,解决了微结构易脱落的工艺问题.通过优化微电铸工艺来减小金属膜层的内应力,优化牺牲层释放工艺来避免腐蚀过程对弹簧膜结构的冲击.实验结果表明,通过工艺优化可得到平整的微型螺旋形弹簧-质量块结构,螺旋弹簧厚度为20 μm,质量块厚度达200 μm,本文的工作可为大批量、低成本地研制微型加速度开关提供工艺基础.
미형가속도개관시용우공간비행체중감수가속도병완성치동적중요관성기건.본문채용UV-LIGA기술,결합SU-8후효공예、미전주공예이급희생층기술,제작료미형라선형가속도개관.연구료희생층공예、SU-8광각기술이급라선형탄황형변공제등미세가공적공예세절;분석료다충희생층재료적특성,우선료여공예상괄응적Zn희생층체계,해결료미결구역탈락적공예문제.통과우화미전주공예래감소금속막층적내응력,우화희생층석방공예래피면부식과정대탄황막결구적충격.실험결과표명,통과공예우화가득도평정적미형라선형탄황-질량괴결구,라선탄황후도위20 μm,질량괴후도체200 μm,본문적공작가위대비량、저성본지연제미형가속도개관제공공예기출.