真空
真空
진공
VACUUM
2009年
5期
14-17
,共4页
于贺%王涛%吴志明%蒋亚东%姜晶%靖红军
于賀%王濤%吳誌明%蔣亞東%薑晶%靖紅軍
우하%왕도%오지명%장아동%강정%정홍군
粒子模拟%磁控溅射%电磁场分布%刻蚀形貌
粒子模擬%磁控濺射%電磁場分佈%刻蝕形貌
입자모의%자공천사%전자장분포%각식형모
首先使用有限元分析方法求解磁控溅射电磁场的分布,然后结合受力分析,仿真了单电子运动轨迹并较好地呈现螺旋形状,同时模拟出多粒子柬的靶面位置分布以及刻蚀形貌图,最后把计算结果与实验中靶面刻蚀形貌进行对比,所求结果与实验测量数据吻合.
首先使用有限元分析方法求解磁控濺射電磁場的分佈,然後結閤受力分析,倣真瞭單電子運動軌跡併較好地呈現螺鏇形狀,同時模擬齣多粒子柬的靶麵位置分佈以及刻蝕形貌圖,最後把計算結果與實驗中靶麵刻蝕形貌進行對比,所求結果與實驗測量數據吻閤.
수선사용유한원분석방법구해자공천사전자장적분포,연후결합수력분석,방진료단전자운동궤적병교호지정현라선형상,동시모의출다입자간적파면위치분포이급각식형모도,최후파계산결과여실험중파면각식형모진행대비,소구결과여실험측량수거문합.
