兰州交通大学学报
蘭州交通大學學報
란주교통대학학보
JOURNAL OF LANZHOU JIAOTONG UNIVERSITY（Natural Sciences）
2009年
4期
78-81
,共4页
周文和%刘倩%王良璧%任学昌%王良辰%常青
週文和%劉倩%王良璧%任學昌%王良辰%常青
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聚酰亚胺%湿度传感器%电容式传感器
聚酰亞胺%濕度傳感器%電容式傳感器
취선아알%습도전감기%전용식전감기
以P型单晶硅为基片,聚酰亚胺为湿敏介质,钛和金为电极材料,通过氧化SiO2绝缘层、磁控溅射平板下电极和栅状上电极、涂敷湿敏介质及其亚胺化,制作了平行板电容式湿度传感元件.介绍了传感元件的制造工艺和感湿机理,测试了成品的湿敏特性,对测试结果进行了分析.结果表明本文研制的湿度传感器设计合理、性能稳定,可满足湿度测量的要求,其性能主要取决于聚酰亚胺膜的制备过程,以及栅状上电极的结构.
以P型單晶硅為基片,聚酰亞胺為濕敏介質,鈦和金為電極材料,通過氧化SiO2絕緣層、磁控濺射平闆下電極和柵狀上電極、塗敷濕敏介質及其亞胺化,製作瞭平行闆電容式濕度傳感元件.介紹瞭傳感元件的製造工藝和感濕機理,測試瞭成品的濕敏特性,對測試結果進行瞭分析.結果錶明本文研製的濕度傳感器設計閤理、性能穩定,可滿足濕度測量的要求,其性能主要取決于聚酰亞胺膜的製備過程,以及柵狀上電極的結構.
이P형단정규위기편,취선아알위습민개질,태화금위전겁재료,통과양화SiO2절연층、자공천사평판하전겁화책상상전겁、도부습민개질급기아알화,제작료평행판전용식습도전감원건.개소료전감원건적제조공예화감습궤리,측시료성품적습민특성,대측시결과진행료분석.결과표명본문연제적습도전감기설계합리、성능은정,가만족습도측량적요구,기성능주요취결우취선아알막적제비과정,이급책상상전겁적결구.
